Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9279394 zu verkaufen

ULVAC MLX-3000N ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung für eine Vielzahl von Anwendungen. Es verwendet ein zielgetriebenes Inline-Sputterverfahren, um präzise und gleichmäßige Filme auf Substraten abzuscheiden. MLX-3000N bietet präzise Ionendosiermöglichkeiten zur Steuerung der Foliendicke und Stöchiometrie sowie eine hohe Folieneinheitlichkeit und Reproduzierbarkeit. Das System verwendet vier Netzteile, die in 0.01V Schritten, einstellbarer Pulsfrequenz und einstellbarem Ionenstrombereich von 100nA bis 1mA einstellbar sind. Das Gerät verfügt außerdem über eine einfach zu bedienende Softwareplattform, die es dem Benutzer ermöglicht, die Parameter an die spezifischen Anforderungen der Abscheidung anzupassen. Die Sputtermaschine enthält eine 360 ° -Dual-Target-Viersäulenkammer und einen Standarddruckbereich von 0,004-2,8 Pa (30 mTorr-400 mTorr) Betriebstemperatur bis 100 ° C. Es ist mit einem hochauflösenden digitalen Bildgebungsmechanismus und fortschrittlicher Videobearbeitungstechnologie für eine bessere Sicht auf die Oberfläche des Substrats ausgestattet. ULVAC MLX-3000N unterstützt sowohl DC- als auch pulsierendes DC-Sputtern sowie reaktives/HI-Ionen-Sputtern. Es ist auch in der Lage, Bogensputtern für hochreaktive Sputterprozesse durchzuführen. Das Tool bietet eine Reihe von Funktionen, wie automatische Zielsteuerung, dynamische Kammerreinigung, Substratheizungssteuerung, Zielschutz, softwaregesteuertes Timing, automatisierte Substrathalterspannungseinstellung und automatische Kammerwartung. Diese Eigenschaften machen MLX-3000N ideal für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich der Abscheidung von Nitriden, Oxiden, Metallen und Oxynitriden für Flachbildschirme, Dünnschichtbatterien, Sensoren, optische Beschichtungen und verschiedene andere elektronische Beschichtungsbedürfnisse. Die Anlage bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen. Die Prozesskammer und die Stützmagnete von ULVAC MLX-3000N sind zum Schutz vor EM-Störungen magnetisch abgeschirmt, und das Modell enthält verschiedene Sicherheitssensoren, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt MLX-3000N über ein modernes Vakuumüberwachungsgerät, das den Zustand des Vakuumsystems in Echtzeit überwacht und anzeigt. Dieses Gerät implementiert auch eine Reihe von Selbstdiagnosen, die den Bediener warnen sollen, wenn er Probleme oder potenzielle Gefahren während der Verarbeitung erkennt. Insgesamt ist ULVAC MLX-3000N eine ausgezeichnete Sputtermaschine, die präzise, reproduzierbare und einheitliche Ergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Mit seiner benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche, qualitativ hochwertigen Funktionen und Sicherheitsfunktionen ist es eine ideale Wahl für viele Anforderungen an die Abscheidung.