Gebraucht ULVAC MLX-3000N #9280607 zu verkaufen

ULVAC MLX-3000N ist eine leistungsstarke Magnetron-Sputteranlage, die für präzise Schichtabscheidung und Materialwachstum auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Das System kann in vielen Anwendungen eingesetzt werden, wie Dünnschichtabscheidung, Gate-Level-Gerätestrukturen und dielektrische Schichten. Sein robustes Design ermöglicht Sputter-Punktgenauigkeit und gleichmäßige Foliendicke. MLX-3000N wird mit einem 13,56-MHz-Single magnetron Vakuum-Only-ausgestattet stottern Werkzeug, das dazu fähig ist, hohe Absetzungsraten und Uniform zu erzeugen, stottert Absetzung. Das Gerät ist mit einer erweiterten Sputter-Stromquelle von ULVAC ausgestattet, einer integrierten Master-Slave-Stromversorgungsmaschine, die eine feine Kontrolle der Eigenschaften der gesputterten Schicht ermöglicht. Die offene Architektur ermöglicht die Kompatibilität mit den meisten Kammerkomponenten und macht das Werkzeug sehr vielseitig. Die Anlage wurde entwickelt, um Gasleckagen mit hoher Flexibilität und Konfigurierbarkeit zu minimieren. Es verfügt über einen Quad-Ring ChamberTM, der vier Edelstahl-Dichtungsringkonstruktionen anzeigt. Die Dichtungen reduzieren den Gasaustritt und sind für eine schnelle Wartung sehr konfigurierbar und leicht zu ersetzen. ULVAC MLX-3000N nutzt die Vakuum Digital Interface Unit (VDIU) zur Steuerung und Überwachung, die alle Arbeitssicherheitsstandards erfüllt. Die große, horizontal ausgerichtete Probenlast-Schloßkammer nutzt eine einzigartige Halbleiterprobenstufe für Probenhandhabung und -übertragung. Sein vierstufiger Probenkühler ermöglicht die Kühlung von Proben und Substraten auf unter Raumtemperatur. Die fortschrittliche Software-Suite des Modells ermöglicht es Benutzern, schnell hochpräzise vorhersagende Sputterprozesse einzurichten. MLX-3000N arbeitet sowohl im UHV- als auch im Low Vacuum (LV) -Modus, was eine sehr hohe Kontrolle der Prozessbedingungen ermöglicht und komplexe Substrate mit hohen Seitenverhältnissen ermöglicht. Der integrierte Plasmagenerator ist temperaturgeregelt und ermöglicht eine schnelle Inbetriebnahme ohne Stickstoffgas zur Wiederaufbereitung. Alle diese Funktionen ermöglichen eine zuverlässige Sputterabscheidung in einer Vielzahl von Anwendungen. Insgesamt ist ULVAC MLX-3000N eine zuverlässige Sputterausrüstung, die sich perfekt für eine präzise Schichtabscheidung eignet. Dieses System ist sehr konfigurierbar und einfach zu bedienen und bietet eine robuste Sputterstiftpunktgenauigkeit. Es ist ein ideales Werkzeug für Anwendungen von Dünnschichtabscheidung bis hin zu Gate-Level-Gerätestrukturen.