Gebraucht ULVAC MPS-4000-C4 #9279708 zu verkaufen
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ID: 9279708
Weinlese: 2005
Ultra-high vacuum sputtering system for R&D
Helicon cathode port fo 6
DC power
2005 vintage.
ULVAC MPS-4000-C4 ist ein vier Raum der Große Bereich Magnetron, der Ausrüstung Stottert. Das System besteht aus vier SDC-S250 Prozesskammern, die mit flüssigem Stickstoff gekühlt werden. Die Kammern sind alle platzsparend und verfügen über Substrat-zu-Magnetron (STM) Abstand von weniger als 28 Zoll. Dies ermöglicht den effizienten Einsatz von Hochleistungsabscheidung und nutzt die verkürzten Abscheidezeiten, ohne dabei großflächig auf Gleichmäßigkeit zu verzichten. Die Doppelquellenkonfiguration auf jeder Kammer ermöglicht die Verwendung einer Vielzahl von Zielmaterialien für unterschiedliche konstruktive Konfigurationen. Die Kammern sind mit einem niedrigen thermisch diffusen Reflektor für höhere Abscheideraten, Niedertemperaturabscheidung von Edelstahlzielen und einer großen Suchereinheit ausgestattet. Dieses System ermöglicht ein gleichmäßiges, homogenes Sputtern mit hohen Ionisationsraten, stabilen Plasmabedingungen und gleichmäßiger Abscheidungsrate. Die Maschine ist auch mit einem Multi-Anode-Netzteilen und Hauptsteuerungs-Hardware ausgestattet. MPS-4000-C4 verfügt über eine vollautomatische Prozessrezeptur von ULVAC, mit der Sie Ablagerungsrezepte auf benutzerfreundlicher Steuerungssoftware konfigurieren und optimieren können. Dieses Tool verfügt auch über einen integrierten automatischen Zielaustauscher, mit dem mehrere Zielanwendungen in einem Asset verwendet werden können. Das Modell ist für sehr große Probengrößen bis 600mm Durchmesser konzipiert und kann dickere Folien aus einer Vielzahl von Materialien abscheiden, darunter Metalle, Oxide und Nitride. Der Hauptvorteil dieser Ausrüstung ist seine Fähigkeit, Filme aus einem niedrigeren Temperaturbereich mit hoher Qualität und Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Der Niedertemperatursputterprozess trägt dazu bei, Prozesskosten zu reduzieren und Kontaminationen zu minimieren. Das System verfügt auch über einen Selbstregulierungsmodus und Sensoren, die die Atmosphäre in der Kammer überwachen, um Verschmutzungen zu reduzieren. Das ULVAC MPS-4000-C4 Gerät eignet sich ideal für die Herstellung von hochwertigen optischen und elektronisch beschichteten Glassubstraten in großem Maßstab und eignet sich perfekt für eine Vielzahl von Anwendungen von Flachbildschirmen bis hin zu Solarzellenprodukten. Die Maschine eignet sich ideal für Forschung und Entwicklung, branchenweite Produktion und für spezialisierte Beschichtungsanwendungen.
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