Gebraucht ULVAC MPS-5000-HC6 #9156847 zu verkaufen

ULVAC MPS-5000-HC6 ist eine hochmoderne Sputteranlage für hochwertige Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Das System besteht aus einer 8-Zoll-Einzellen-Magnetsputterquelle, einem 8-Zoll-Substrathalter, einer Hochvakuumkammer, einem optischen Emissionsspektrometer (OES) -Modul und einer dedizierten Software. Die Sputterquelle verfügt über eine Ultraniederspannung, niedrige EMI-Elektronenkanone sowie ein Multimagnetron-Zieldesign mit hoher Kapazität für verbesserte Sputtergleichförmigkeit und Stabilität. Der Substrathalter wird durch einen Mikropositionierer mit einem patentierten Verfahren zur Neutralisierung elektrostatischer Ladungen gesteuert, was eine präzise Substratpositionierung und Beschichtungsgleichförmigkeit gewährleistet. Die Kammer der MPS-5000-HC6 ist mit einer Gaseinspritzeinheit zum Einleiten von Reaktivgasen sowie einer Abgasanlage mit zwei Laufschaufeln und zwei festen Abschirmungen zum Schutz des Kammerinneren vor Verschmutzung ausgestattet. Das OES-Modul ist in die Kammer integriert und ermöglicht Echtzeitüberwachung und automatische Steuerungsparameter während der Sputterabscheidung. Die dedizierte Software vereinfacht und automatisiert Sputtervorgänge mit verschiedenen Rezepten und Parametereinstellungen und verfügt über eine vollautomatische Be-/Entlademaschine. Darüber hinaus ermöglicht es die Speicherung von Sputterrezepten und die Überprüfung des Kammerzustandes. ULVAC MPS-5000-HC6 ist eine attraktive Option für diejenigen, die ein zuverlässiges und effizientes Sputterwerkzeug für die Abscheidung von hochwertigen Folien suchen.