Gebraucht ULVAC MPS-6000-C1S300 #9313940 zu verkaufen

ULVAC MPS-6000-C1S300 ist eine leistungsstarke, aber einfach zu bedienende Plasmasputteranlage. Dieses System wurde entwickelt, um dünne Filme aus Metall, Dielektrikum und anderen Materialien auf Halbleiterscheiben zu erzeugen. Die Einheit besteht aus drei Hauptkomponenten: einer Evakuierungskammer, einer Erziehungskammer und einer Sputterkammer. Die Evakuierungskammer dient zur Evakuierung von Luft und anderen Verunreinigungen aus der Sputterkammer. Dies geschieht durch die Verwendung einer mehrstufigen Turbomolekularschlepppumpe, die mit Hochgeschwindigkeitsschaufeln Luft aus der Kammer zieht und die Kammerreinheit verbessert. Die Erziehungskammer ist für die Einleitung geringer Mengen reaktiver Gase in die Zerstäubungskammer verantwortlich. Dies geschieht durch den Einsatz einer Hochtemperatur-Widerstandsheizmaschine, die zur Verdampfung der reaktiven Gase mit hoher Geschwindigkeit dient. Schließlich wird die Sputterkammer durch eine bordseitige Magnetronsputtereinheit gesteuert. Diese Sputtereinheit erzeugt einen Lichtbogen zwischen den Targetmaterialien und einem aus der Kathode erzeugten Plasmabogen. Dadurch entsteht ein kontrolliertes Plasma, das anschließend die Scheiben mit dünnen Schichten der Zielmaterialien beschichtet. Das Werkzeug ist in der Lage, Filme mit verschiedenen Materialien wie Metalle, Dielektrika, Keramik und Polymere auf Substraten mit einer Vielzahl von Formen und Größen zu erstellen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über mehrere Sicherheitsmerkmale, wie ein Leckageerkennungsmodell, das Gasaustritte aufspürt und stoppt, um Betreiber vor gefährlichen Gasen zu schützen. Insgesamt ist MPS-6000-C1S300 ein ideales Werkzeug, um dünne Filme aus verschiedenen Materialien auf Substraten verschiedener Formen und Größen zu erstellen. Das einzigartige Design und die Sicherheitsmerkmale der Ausrüstung machen es zu einer idealen Wahl für jede Dünnschichtanwendung.