Gebraucht ULVAC PME-200 #9070529 zu verkaufen

ULVAC PME-200 Sputterausrüstung ist ein sehr vielseitiges fortschrittliches Sputtersystem, das für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät wurde mit einem modularen Mehrfachkonfigurationsrahmen konzipiert, der es ermöglicht, mehrere PVD-Prozesse einschließlich thermischem und reaktivem Sputtern aufzunehmen. Die Maschine wird mit zwei Sputterkammern geliefert, die jeweils mit bis zu zwei Magnetronsputterkathoden ausgestattet sind. Jede der Sputterkammern kann bis zu vier Substrate aufnehmen, wobei jedes Substrat auf einem unabhängig angetriebenen Substrathalter angeordnet ist. Das flexible Design des Werkzeugs ermöglicht es dem Anwender, Substrattyp, Zielzusammensetzung und Sputterparameter schnell und einfach zu ändern, um den Anforderungen der Anwendung am besten gerecht zu werden. PME-200 wird von einem hochfrequenten, pulsmodulierten Netzteil gespeist, das hochfrequente Impulse mit Wiederholraten bis zu 3 kHz erzeugen kann. Die automatisierte Steuerung PACMAN wurde entwickelt, um den Eingriff des Bedieners zu minimieren, indem die optimalen Werte für Sputterparameter und Substrattemperatur automatisch eingestellt werden. Dies ermöglicht eine gleichmäßige, wiederholbare Abscheidung auf jedem Substrat. Die federbelastete Duschscheibenkonstruktion sorgt für eine überlegene Abscheidungsgleichmäßigkeit, indem der gesamte Substratbereich vor durch Sputtern erzeugten geladenen Partikeln abgeschirmt wird. Das Suszeptor-Design ermöglicht die Abscheidung von Zielmaterial mit hoher Dichte und bis zu fünf Seltengasleitungen können an das Asset für reaktive Sputterprozesse angeschlossen werden. ULVAC PME-200 verfügt außerdem über einen robusten Kühlkreislauf, der sowohl die Temperaturregelung als auch die Partikelextraktion der Kammer ermöglicht und zur Aufrechterhaltung einer sauberen Verarbeitungsumgebung beiträgt. Schließlich verfügt PME-200 über eine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle, mit der Benutzer den Sputterprozess einfach konfigurieren, Konfigurationen speichern und die vollständige Modellsteuerung und -überwachung bereitstellen können. Das Gerät umfasst auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie ein Türverriegelungssystem mit Verriegelungsaktivierung, Temperaturüberwachung und automatischer Abschaltung bei anormalen Ereignissen. All diese Funktionen machen ULVAC PME-200 zu einem leistungsstarken, flexiblen und zuverlässigen Werkzeug für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen.