Gebraucht ULVAC PME-200 #9218797 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
PME-200
ID: 9218797
Sputtering system.
ULVAC PME-200 ist ein vielseitiges Sputtergerät, das zum Aufbringen dünner Filme auf eine Vielzahl von Substraten verwendet wird. Dieses System ist in Forschungslabors für die Ablagerung einer Vielzahl von Materialien wie Legierungen, Metalle und Isolatoren mit kontrollierten Dicken und Gleichmäßigkeit beliebt. PME-200 besteht aus einer Hauptkammer, die durch ein 3-schichtiges vakuumdichtes Gerätegehäuse abgedeckt ist, und einem Antriebsmechanismus. Diese Hauptkammer ist mit drei Sputterquellen ausgestattet, die entweder in parallelen Magnetron- oder Kreuzfeldquellen ausgebildet sein können. Sie weist ferner eine Quellenträgerstruktur und eine passende Kathodenanordnung auf, die als Verbindung zwischen den Sputterquellen und dem Substrathalter fungiert. Der Substrathalter ist für die Unterstützung von Substraten während der Abscheidung verantwortlich und kann sowohl für flache als auch für zylindrische Substrate ausgebildet sein. Es besteht aus einem Halterahmen, Heizungen und einem Fokusring. Die Heizungen dienen zur Einstellung der Substrattemperatur und der Fokusring bietet eine einstellbare Fläche für die Abscheidungsquellen. Der Controller von ULVAC PME-200 verfügt über ein Touchpanel mit einem LCD-Display, Sicherungsspeicher, Programmieroptionen und Quellensteuerung. Dieser Quellcontroller kann bis zu fünf Abscheidungsquellen mit einer Vielzahl von Sputtergasen handhaben. Dieses Gerät verfügt über eine ausgeklügelte thermische Steuerungsmaschine mit einer PID-Rückkopplungsschleife, die eine präzise Temperaturstabilität und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Die Temperaturregelung kann über den Fokusring mit Argon, Stickstoff, Helium und anderen Gasen gesteuert werden. PME-200 ist mit einem Auspuffverwaltungswerkzeug ausgestattet, um sicherzustellen, dass Partikel sicher entfernt werden. Diese Anlage verfügt über einen Abgasanschluss für eine effektive Belüftung. Es ist auch mit einem Vakuumdrucksensor ausgestattet, so dass es den Abscheideprozessdruck genau messen kann. ULVAC PME-200 ist ein vielseitiges Abscheidemodell mit mehreren Sputterquellen und einer ausgeklügelten thermischen Steuerung. Dieses System ermöglicht es, eine Vielzahl von Materialien mit kontrollierten Dicken und Gleichmäßigkeit auf flachen und zylindrischen Substraten abzuscheiden. Die fortschrittliche Wärmekontroll- und Abgasmanagementeinheit sorgt für einen sicheren und effizienten Prozess mit einer Vielzahl von Gasen.
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