Gebraucht ULVAC SBH-2306 #9107295 zu verkaufen
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ULVAC SBH-2306 ist eine Sputteranlage für eine Vielzahl von Anwendungen wie das Aufbringen dünner Materialschichten auf Substrate. Es verfügt über eine kuppelförmige Vakuumkammer, die eine hermetisch abgedichtete Umgebung bereitstellt und ein Gaseinspritzsystem zur optimalen Temperaturregelung verwendet. Im Inneren der Kammer befindet sich eine Multi-Target-Sputterpistole mit vier HF-Sputterkathoden für verschiedene Beschichtungskonfigurationen. Es verfügt über einen programmierbaren Impuls/Timer zur Steuerung der Sputterdauer und eine Vorspannungsquelle zur Steuerung der Plasmadichte. SBH-2306 ist in der Lage, Abscheidegeschwindigkeiten im Bereich von 0,1 bis 10 nm/min für die Dünnfilmbeschichtung zu erzielen. Es verfügt auch über einen kompakten und einfach zu bedienenden Controller, der bis zu zehn Sputterparameter unterstützen kann, einschließlich Zielwinkel, Kammerdruck, Gasdurchflussrate und Sputterspannung. Diese Sputtereinheit kann reaktive Ionensputter-, Oxidations- und oxidationsfreie Beschichtungsprozesse erleichtern. Es verfügt über eine In-situ-Drucküberwachungskammer und eine Hochdruckgaseinspritzmaschine zur besseren Prozesssteuerung und verbesserten Wiederholbarkeit. ULVAC SBH-2306 ist zudem mit einer Turbomolekularpumpe für den Hochvakuumbetrieb ausgestattet, die für spannungsarme Sputterbeschichtungen notwendig ist. Zusätzlich verfügt es über eine Stickstoffspülöffnung, um die Pumpenstillstandszeit zu beschleunigen. Die Kammer verfügt außerdem über zwei Anschlüsse für die Materialeinleitung, eine für das Aluminiumtarget und eine für reaktives Gas sowie einen Sichtbereich zur Steuerung des gesamten Sputterprozesses in Echtzeit. Um die beste Leistung zu gewährleisten, verfügen ULVAC Sputtersysteme über High-End-Mikroprozessor-Controller mit mehreren und präzisen Sputterparametern, um eine optimale Prozesssteuerung zu gewährleisten. Es gibt Sicherheitsmerkmale, wie einen akustischen und optischen Alarm zur Warnung des Bedieners, wenn unsichere Prozessbedingungen erkannt werden. Dieses Werkzeug enthält auch ein Wartungsmenü, so dass der Bediener problemlos Korrekturmaßnahmen ergreifen kann. Insgesamt ist SBH-2306 eine hochentwickelte Sputteranlage, die zuverlässige, wiederholbare und präzise Dünnschichtbeschichtungsergebnisse für eine Vielzahl verschiedener Anwendungen liefert. Es ist mit vielen Funktionen ausgestattet, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten und kann mit einer minimalen Investition qualitativ hochwertige Ergebnisse liefern.
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