Gebraucht ULVAC SBH-2306 #9156856 zu verkaufen

ULVAC SBH-2306 ist eine Sputteranlage zum Aufbringen von Dünnschicht auf Substraten. Es ist ideal für die Schaffung von feinen Strukturen mit einer überlegenen Einheitlichkeit. Das System besteht aus einer rotierenden Sputterpistole, einer Vakuumkammer und einem drehbaren Hubtisch. Die Sputterpistole ist sowohl für reaktives als auch für nicht-reaktives Sputtern ausgelegt. Es verwendet drei Geschützmodi, um verschiedene Sputterbedürfnisse zu erfüllen. Dazu gehören leistungsmoduliertes, hochfrequenzmoduliertes (RF) und DC-Magnetron-Sputtern. Die Pistole ist mit einer Reihe von Zielen ausgestattet, um eine breite Palette von zu zerstäubenden Materialien abzudecken. Die Vakuumkammer wird mechanisch gepumpt und mit einer Drehflügelschrupppumpe ergänzt. Es hat auch eine separate Turbopumpe für Hochvakuumbetrieb. Gasabgas- und Entlüftungssysteme sind eingebaut, um prozessbezogene Vorgänge zu erleichtern. Der drehbare Hubtisch ist in der Lage, Substrate in und aus dem Sputterweg zu drehen und dient auch der Einsparung von Substratraum. SBH-2306 bietet eine Reihe von zusätzlichen Funktionen wie Substrat Temperaturregelung, digitale Vakuum-Messgerät, geschlossene Schleife Prozessüberwachung, und eine automatisierte Glühen Entladung Reinigung und Konditionierung Einheit. Die Gesamtgröße der Maschine ist klein mit einer Grundfläche von 89 „in der Länge und 30“ in der Breite. Dieses Tool bietet hervorragende Leistung mit reproduzierbaren Ergebnissen. Es eignet sich gut für Dünnschichtanwendungen wie ITO-Beschichtung, SiO/SiN-Beschichtung und PECVD-Filmabscheidung für OLEDs und Metall/Isolator-Mehrschichtsysteme. ULVAC SBH-2306 bietet eine hervorragende Fähigkeit, feine Funktionen zu schaffen und gleichzeitig eine überlegene Einheitlichkeit zu erhalten.