Gebraucht ULVAC SBH-5315 #9053711 zu verkaufen

ULVAC SBH-5315
Hersteller
ULVAC
Modell
SBH-5315
ID: 9053711
Weinlese: 1985
Sputtering system, 1985 vintage.
ULVAC SBH-5315 Sputtering Equipment ist eine umfassende Dünnschichtabscheideplattform für ein breites Spektrum an Forschungs- und Industrieanwendungen. Es ist in der Lage, gleichmäßige, qualitativ hochwertige dünne Filme aus verschiedenen Materialien einschließlich Metallen, Halbleitern und Isolatoren abzuscheiden. Es ist speziell für sehr hohe Abscheideraten unter Beibehaltung einer hohen Wiederholbarkeit und Genauigkeit ausgelegt. Diese Eigenschaften machen es für eine Vielzahl von Sputterabscheidungsprozessen wie kathodische Bogenverdampfung (CAE), planares Magnetronsputtern (PMS) und reaktives Sputtern gut geeignet. Das System ist mit einer Drei-Ziel-DC/RF-modularen Plattform ausgestattet, die die Abscheidung von ein- und mehrlagigen Dünnfilmen erleichtert. Es verwendet ULVAC proprietäre Technologie, häufig als „Gunn Effect“ bezeichnet, die gleichmäßig dicke Schichten erzeugt. Dies ermöglicht eine genaue Steuerung des Sputterprozesses sowie hohe Abscheidegeschwindigkeiten. Das Gerät verfügt außerdem über eine umfassende Hardware-Suite, einschließlich Sensoren, Temperaturmonitor, Computerschnittstelle und Steuerungsmaschine. Dies ermöglicht eine präzise, automatisierte Steuerung der Sputterparameter sowie der Abscheiderate. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine Vakuumkammer mit einem Vier-Quadranten-Design, in dem mehrere Targets und Substrate untergebracht werden können. Zur Evakuierung der Kammer wird eine leistungsstarke turbomolekulare Vakuumpumpe eingesetzt, die eine effiziente und niedertemperaturfeste Materialabscheidung ermöglicht. SBH-5315 setzt auch eine Temperaturregelung ein, die unerwünschte Ausgasungen verhindert und die Temperaturstabilität während des gesamten Abscheidungsprozesses gewährleistet. Darüber hinaus enthält das Modell mehrere Sicherheitsmerkmale, wie automatische Abschaltsysteme, die die gesamte Ausrüstung zum Erliegen bringen, wenn die Bedingungen durch Systemausfall oder menschliches Versagen unsicher werden. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Datenprotokollierungsfunktionen, mit denen der Benutzer den Ablagerungsprozess aufzeichnen sowie Daten in Echtzeit verfolgen und analysieren kann. Insgesamt ist ULVAC SBH-5315 eine sehr vielseitige, benutzerfreundliche Sputtermaschine, die zuverlässige, leistungsstarke Dünnschichtabscheidungen bereitstellen kann. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die eine genaue Prozesskontrolle, Temperaturregelung und Prozessüberwachung ermöglichen. Es ist eine geeignete Wahl für Forscher und industrielle Anwender, die hochwertige Dünnschichtmaterialien für verschiedene Anwendungen benötigen.
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