Gebraucht ULVAC SCH-1000 #9314701 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9314701
Sputtering system
C30PMVRT Cryo compressor
Oil miss trap
Motor cylinder
TMP SHIMADZU
Cryo pump
Mechanical pump
IAI Cylinder
Power supply.
ULVAC SCH-1000 ist eine kompakte, hochentwickelte Sputteranlage für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen. Das System kann für eine breite Palette von Sputteranwendungen verwendet werden, einschließlich der Dünnschichtabscheidung von Glas, Aluminium, Silizium und anderen Materialien. Das Gerät ist mit einem zweistufigen HF-Netzteil für eine höhere Gleichmäßigkeit und eine schnelle Abscheidung von Dünnschichtschichten ausgestattet. Es verfügt auch über einen 3D-Substrathalter, um die Gleichmäßigkeit über alle Abschnitte des Substrats zu erleichtern, eine Vakuumkammer für eine Ultrahochvakuumumumgebung und eine vollautomatisierte Prozessgassteuerungsmaschine zur überlegenen Kontrolle des Abscheidungsprozesses. Das Werkzeug ist mit einer fortschrittlichen Lithographie-Anlage gebaut, die sowohl optische als auch Elektronenstrahl-Lithographie in einer einzigen Maschine kombiniert. Dies ermöglicht eine präzise Herstellung von Nanostrukturen bis zu mehreren hundert Nanometern Größe mit hoher Genauigkeit. Das Modell verfügt außerdem über einen Hochgeschwindigkeits-Sputterkopf mit bis zu sechs installierten Zielen, der eine hohe Produktivität und Skalierbarkeit für Produktionsanwendungen ermöglicht. Das Gerät ist in der Lage, einschichtige oder mehrschichtige Dünnschichtabscheidungen mit einer großen Auswahl an Materialien und Substrattypen durchzuführen. SCH-1000 verfügt über ein präzises Dickenbestimmungssystem mit einer Genauigkeit von bis zu 5 Angströmen, das durch seinen berührungslosen optischen Dickenmonitor in Echtzeit erleichtert wird. Es verfügt auch über einen eingebauten Gasdruckmonitor, der hilft, saubere Prozessbedingungen für konsistente Ergebnisse aufrechtzuerhalten. Mit seinem 3D-Substrathalter ist es auch in der Lage, Gleichmäßigkeit für mehrere Schichten über das gesamte Substrat zu erreichen. ULVAC SCH-1000 wurde entwickelt, um den Durchsatz durch schnelle Ausrichtung, kurze Zykluszeiten und schnelle Substratwechsel zu erhöhen. Die einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche ermöglicht auch eine einfache Bedienung. Dieses zuverlässige und effiziente Sputterwerkzeug kann verwendet werden, um eine Vielzahl von dünnen Schichten, von Oxiden bis zu Metallen, auf verschiedenen Substratsubstraten, einschließlich flexibler Kunststoffe, abzuscheiden. Mit seinem breiten Anwendungsspektrum und zuverlässiger Leistung ist SCH-1000 eine ideale Sputterlösung für die meisten Forschungs- und Industriebedürfnisse.
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