Gebraucht ULVAC SCH-135 #9411089 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SCH-135
ID: 9411089
Horizontal inline sputtering system Electrode deposition 90 sec tact Chamber: Loading Heating Isolation Unloading Assembly: Vacuum Transfer Internal jig Heating Sputtering cathode Power supply Frame and conveyor System: Pumping Operation Measurement Gas inlet Compressed air Cooling water Spare parts.
ULVAC SCH-135 ist eine hochpräzise Sputteranlage für optimale Dünnschichtabscheidung. Dieses System ist ideal, um dünne Metall-, Oxid- und Nitridschichten mit präziser Kontrolle und Gleichmäßigkeit über große Flächen zu bilden. SCH-135 ist eine fortschrittliche, einseitige Magnetron-Sputtereinheit, die aus einem hochgenauen Substratpositionierer, einem ausgeklügelten Controller und einem Cluster von magnetischen Sputterzielen unterschiedlicher Größe besteht. ULVAC SCH-135 ermöglicht Abscheidungen bei höheren Drücken als andere konventionelle Systeme und hat sich zu einem führenden Werkzeug für industrielle Dünnschichtanwendungen entwickelt. SCH-135 bietet eindimensionales unidirektionales Sputtern, das mit einem breiten Druckbereich betrieben werden kann, vom Hochvakuum (1x10-7 Pa) bis zum Ultrahochvakuum (1x10-9 Pa). Elektronen aus der Kathode werden zur Anode hin beschleunigt und verursachen beim Auftreffen auf das Target Ablösungen von Zielatomen, die dann auf Substraten abgeschieden werden. Dieser Sputterprozess ist sehr wiederholbar und zuverlässig und bietet eine hervorragende Kontrolle über Dünnschichteigenschaften wie Dicke, Zusammensetzung, Form und Reflektivität. Die Kontrolleurschnittstelle von ULVAC SCH-135 ist äußerst benutzerfreundlich und berücksichtigt leichte Einstellung, Kontrolle und Überwachung des Dünnfilms vielschichtige Absetzungsprozesse. Es verfügt über eine große Datenbank mit vordefinierten Rezepten für Sputterabscheidungsprozesse, die eine einfache programmatische Steuerung der Maschine ermöglichen. Darüber hinaus ermöglicht die innovative grafische Benutzeroberfläche (GUI) dem Bediener die einfache Visualisierung des Abscheideprozesses, der SCH-135 von anderen Sputtersystemen unterscheidet. ULVAC SCH-135 ist das Werkzeug für großflächige Dünnschichtabscheidungsanwendungen in Industrie und Wissenschaft. Es wird häufig zur Herstellung von Dünnschichttransistoren, optischen Beschichtungen wie AR-Beschichtungen, dielektrischen Spiegeln, Energiespeicher- und Erntegeräten sowie Dünnschichtverkapselungs-/Passivierungsschichten verwendet. Darüber hinaus ist die Fähigkeit, Dünnschichtschichten mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit herzustellen, ideal für eine Vielzahl wissenschaftlicher Forschungsanwendungen, wie die Untersuchung physikalischer, chemischer und optischer Eigenschaften von Dünnschichtmaterialien. Kurz gesagt, ist SCH-135 Sputterwerkzeug eine fortschrittliche Dünnschichtabscheidung, die hochpräzise, gleichmäßige Dünnschichtschichten auf großen Flächen mit stark wiederholbaren, zuverlässigen Ergebnissen abscheiden kann. Es verfügt über eine ausgeklügelte Controller-Schnittstelle und eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Einrichtung, Steuerung und Überwachung von Dünnschichtabscheidungsprozessen extrem benutzerfreundlich und effizient macht. Mit ULVAC SCH-135 haben Dünnschichtanwendungen im industriellen und wissenschaftlichen Bereich an Dynamik gewonnen und sind eines der am weitesten verbreiteten Sputtersysteme für die Dünnschichtabscheidung.
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