Gebraucht ULVAC SDP-651 #9379485 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SDP-651
ID: 9379485
Sputtering system (3) MITSUBISHI RH-L4B Robots RF Generator (12) SHIMADZU TMP1500 Turbo pumps (11) ULVAC VS 2401 Dry pumps.
ULVAC SDP-651, hergestellt von ULVAC-PHI, Inc., ist eine hochpräzise und kostengünstige Sputteranlage, die für die volumenstarke Abscheidung von dünnen Folien ausgelegt ist. Dieses System verfügt über eine kleine Stellfläche mit einer maximalen Breite von 808mm, einer Höhe von 875mm und einer Tiefe von 1150mm. Es hat ein 9-Zoll-Sputtertarget, das bis zu 24 Ziele ablegen kann. Das Gerät wird mit einem leistungsstarken Gleichstrom (DC) versorgt und kann bis zu 350W Strom für die Abscheidung von dünnen Filmen liefern. Es verwendet eine einrahmige, offene Sputterpistole, die mit ein- oder zweiseitigen Zielen montiert ist. Die ein- oder doppelseitigen Ziele können durch mechanische Art, elektrische Hebemaschine oder manuelle Belastung belastet werden. Das Tool ist in der Lage, Ausgänge von bis zu 75mA/in2 und 20mTorr zu liefern. SDP-651 ist mit einem Prozessregler ausgestattet, der die Prozessbedingungen einschließlich Temperatur, Sputterdruck und Spannung überwacht. Die Überwachung erfolgt über einen Infrarot-Temperatursensor, einen Restgasanalysator, einen Manometer, einen Zielstrommonitor und einen Spannungsleistungsmonitor. Es kann für den manuellen oder automatischen Betrieb konfiguriert werden, so dass 18 verschiedene Sprachoptionen verfügbar sind. Das Asset nutzt eine erweiterte, erweiterte Arbeitsabstandsanfälligkeit, um eine hohe Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Ablagerung zu gewährleisten. Es bietet auch eine breite Palette von Substratmaterialien und -größen, die ohne die Notwendigkeit eines neuen Zielaufbaus geändert werden können. Der verlängerte Arbeitsabstand soll die Wirkung des Substrats auf die Abscheidungsergebnisse minimieren. ULVAC SDP-651 wurde speziell entwickelt, um die hochwertigsten Dünnschichtabscheidungsergebnisse zu liefern. Das Modell ist mit hocheffizienten, gleichmäßigen Abscheidungen, gleichmäßiger Dicke, hoher Reinheit und geringen thermischen Variationsmerkmalen ausgestattet, was es zu einer idealen Wahl für die Abscheidung dünner Filme in organischen und anorganischen Materialanwendungen macht.
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