Gebraucht ULVAC SDP-850 #9379484 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9379484
Sputtering system
(3) MITSUBISHI RH-L4B Robots
(7) ULVAC TMP3003LM Turbo pumps
(14) ULVAC Dry pumps
(9) ITO Target chambers.
ULVAC SDP-850 ist eine Sputterabscheidung, die für hochpräzise Folienabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System kombiniert ULVAC bestehende Magnetron-Sputtertechnologie mit neu integrierter PI-Technologie, um gleichmäßige, gleichmäßige Folien mit hoher Genauigkeit zu produzieren. Seine führende Sputterquelle bietet eine überlegene Plasmakontrolle für eine extrem breite Palette von Materialien. Dadurch wird eine gleichbleibende und zuverlässige Folienabscheidung bei hoher Präzision auch über unterschiedliche Fließgeschwindigkeiten und Materialien gewährleistet. Das Gerät wird über eine Touchscreen-SPS verwaltet und bedient und bietet Anwendern eine benutzerfreundliche Schnittstelle zur Steuerung verschiedener Maschinenfunktionen. SDP-850 behält auch eine konstante Vakuumumgebung innerhalb der Kammer bei, was die Vakuumabscheidungseffizienz erhöht und die Kontamination reduziert. Ein weiteres Merkmal des Werkzeugs ist die Verwendung von keramisch geschlossenen Bootskathoden, die aufgrund ihres abgedichteten Zustandes eine einfache Bedienung und Wartung ermöglichen. Sicherheit ist ein wichtiger Faktor, der in das Design von ULVAC SDP-850 integriert ist, da es mit einem Erdungsstecker und verschiedenen Ionisatoren und magnetischen Abschirmungen befestigt ist, um Personal und Ausrüstung effektiv vor Plasmastößen zu schützen. Die doppelte Gassteuerung bietet ein zusätzliches Maß an Sicherheit und ermöglicht eine gleichzeitige Kontrolle sowohl über niedrige als auch über hohe Druckströme bei gleichmäßiger Gasverteilung. SDP-850 ist bekannt für seine Fähigkeit, Filmabscheidungen auf großflächigen Substraten mit einer maximalen Probengröße von 300 mm Durchmesser und einer maximalen Dicke von 1000nm durchzuführen. Seine große Arbeitsfläche ermöglicht auch die Abscheidung mehrerer Schichten auf dem gleichen Substrat während eines einzigen Prozesses. Insgesamt ist ULVAC SDP-850 ein innovatives Sputter-Abscheidungsmodell, das hohe Genauigkeit, Gleichmäßigkeit und Sicherheit sowie eine breite Palette von Materialien und Prozessgrößen bietet. Seine benutzerfreundliche Oberfläche verbessert seine Bedienbarkeit und Einfachheit, während seine fortschrittlichen Steuerungs- und Sicherheitssysteme zuverlässige Ergebnisse bei minimalem Eingriff des Bedieners gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor