Gebraucht ULVAC SDP-S 1550VM #293753561 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SDP-S 1550VM
ID: 293753561
Sputtering system Can be coated with SiO2/Nb2O5 high-penetration glass SiO2/Nb2O5 high-penetration glass + ITO MoNb/AlNd/ MoNb film SiO2+ITO.
ULVAC SDP-S 1550VM ist eine leistungsstarke, fortschrittliche Sputterausrüstung, die für eine präzise Dünnschichtabscheidung in einer Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen entwickelt wurde. Dieses System ist mit modernster Technologie ausgestattet, um überlegene Folienqualität, hohen Durchsatz und ausgezeichnete Prozesskontrolle sicherzustellen. SDP-S 1550VM verfügt über eine vielseitige Konfiguration, die das Sputtern einer Vielzahl von Materialien ermöglicht, darunter Metalle, Oxide und Nitride. Diese Einheit ist in der Lage, Filme mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Dickensteuerung abzuscheiden, so dass es ideal für Anwendungen ist, die eine genaue Schichtabscheidung erfordern, wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, optische Beschichtungen und die Entwicklung von Sensoren. Eines der Hauptmerkmale von ULVAC SDP-S 1550VM ist seine große Abscheidekammer, die Substrate verschiedener Größen bis 200 mm Durchmesser aufnimmt. Dies ermöglicht es Anwendern, Filme auf einer Reihe von Substraten abzulegen, von kleinen Proben für F & E-Zwecke bis hin zu Wafern im Produktionsmaßstab. Die Maschine ist auch mit einer hochpräzisen Substratstufe ausgestattet, die eine genaue Positionierung und Rotation während des Abscheidungsprozesses gewährleistet und zu einer gleichbleibenden Filmqualität über die gesamte Substratoberfläche führt. SDP-S 1550VM enthält eine Magnetron-Sputterquelle, die ein Plasma aus Metallionen erzeugt, die aus einem Zielmaterial auf die Substratoberfläche gesputtert werden. Die Magnetronquelle ist mit fortschrittlichen Stromversorgungen und Steuersystemen ausgestattet, die eine präzise Abstimmung der Sputterprozessparameter wie Zielleistung, Gasdurchfluss und Druck ermöglichen. Diese Steuerung ermöglicht es Anwendern, die Folieneigenschaften wie Zusammensetzung, Dicke und Morphologie an spezifische Anforderungen an ihre Anwendung anzupassen. Neben dem Magnetron-Sputtern können ULVAC SDP-S- 1550VM mit mehreren Sputterquellen konfiguriert werden, einschließlich HF- und DC-Sputtern, was das Co-Sputtern verschiedener Materialien und das Abscheiden mehrschichtiger Filme ermöglicht. Diese Fähigkeit erhöht die Vielseitigkeit des Werkzeugs und ermöglicht es Anwendern, komplexe Filmstrukturen mit einzigartigen Eigenschaften wie optische Filter, Barrierebeschichtungen und magnetische Dünnschichten zu erstellen. SDP-S 1550VM ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die eine intuitive Steuerung des Abscheideprozesses über ein grafisches Touchscreen-Display ermöglicht. Die Anlage verfügt über vorprogrammierte Rezepte für gängige Ablagerungsprozesse sowie die Möglichkeit, individuelle Rezepte zu erstellen, die auf bestimmte Materialsysteme und Filmeigenschaften zugeschnitten sind. Echtzeit-Überwachungs- und Datenprotokollierungsfunktionen ermöglichen es Benutzern, die Abscheideprozessparameter zu verfolgen und die Filmeigenschaften zur Qualitätskontrolle und Optimierung zu analysieren. Insgesamt ist ULVAC SDP-S 1550VM ein hochmodernes Sputtermodell, das erweiterte Funktionen für eine präzise Dünnschichtabscheidung in einer Vielzahl von Forschungs- und Industrieanwendungen bietet. Mit seinen leistungsstarken Funktionen, der vielseitigen Konfiguration und der benutzerfreundlichen Oberfläche bietet dieses Gerät Forschern und Herstellern die Werkzeuge, die sie benötigen, um eine überlegene Folienqualität zu erreichen und die anspruchsvollen Anforderungen moderner Dünnschichttechnologien zu erfüllen.
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