Gebraucht ULVAC SH-350EL-C06 #9078346 zu verkaufen

ULVAC SH-350EL-C06 ist eine Sputteranlage, die von ULVAC Inc. Es handelt sich um ein Mehrkammersystem, mit dem dünne Filme in einem einzigen Schritt auf Substraten abgeschieden werden können. Es eignet sich für die großtechnische Batchverarbeitung und unterstützt eine Reihe von Verfahren wie reaktives Sputtern, DC-reaktives Magnetronsputtern, reaktives Ionenätzen und Ionenstrahlabscheidung. SH-350EL-C06 besteht aus einer evakuierten Hauptkammer mit einer manuellen Übergabeeinheit, einer Prozesskammer, einem Substrathalter/Kühler und einem Lastschrank. Die Hauptkammer verfügt über einen Kammerdruckmesser, wassergekühlte Platten und eine Vielzahl von Anschlüssen wie Lastverriegelungsöffnungen und Drosselklappen, die eine Vielzahl von verbundenen Prozesskammern ermöglichen. Die Prozesskammer ist mit bis zu vier Targets ausgestattet, je nachdem, welches Material abgelagert wird, einer mit dem Boden der Kammer verbundenen Vakuumpumpe und einem Quarzduschkopf, der das Dach der Kammer auskleidet, um eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten. Die Kammer kann entweder mit einer Gleichstrom- oder einer HF-betriebenen Quelle betrieben werden. Der Substrathalter/Kühler ist für bis zu zwei Substrate ausgelegt, deren Spezifikationen einstellbar sind. Der Halter kann Substrate bis zu 700 x 700 mm aufnehmen und ist mit Temperatursensoren zur Überwachung und Aufrechterhaltung der Substrattemperatur zwischen 10 und 40 Grad Celsius ausgestattet. Außerdem weist der Substrathalter einen rotierenden Scheibenboden auf und ist mit einem berührungslosen Suszeptor und einem in der Ebene „Kippdrehmechanismus“ ausgestattet, falls beim Abscheiden ein geneigter Winkel oder Drehwinkel erforderlich ist. Schließlich ist der Lastschrank mit einem vorderen öffenbaren Tor ausgebildet, wodurch Substrate ohne Unterbrechung des Prozesses beladen und entfernt werden können. Es ist mit einem Quarz- oder Aluminiumoxid-Liner ausgestattet, um sicherzustellen, dass sich die Glätte des Substrats nicht ändert. Außerdem ist die Schleusenkammer in der Lage, bis zu vier Lasten gleichzeitig mit durchgehenden Quarzdichtungen aufzunehmen, die eine sauerstofffreie Umgebung bieten, um Oxidation oder Reaktionen mit verbleibenden atmosphärischen Gasen zu verhindern. Zusammenfassend ist ULVAC SH-350EL-C06 Mehrkammer-Sputtereinheit perfekt für die industrielle Serienverarbeitung geeignet und bietet eine Reihe von Optionen, die eine Vielzahl von Abscheideprozessen ermöglichen. Es ist aufgrund seines intuitiven Designs und seiner Funktionen einfach zu bedienen und durch seine geschlossene Maschine effizient. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Dünnschichtabscheidung für diejenigen, die ein zuverlässiges und robustes Sputterwerkzeug benötigen.