Gebraucht ULVAC SH-450-T10 #9156843 zu verkaufen

ULVAC SH-450-T10 ist ein Hoher Macht-DC magnetron stotternde Ausrüstung, die für die Absetzung von Filmmaterialien in der Halbleitergerätherstellung entworfen ist. Es verfügt über eine einzige Spindel und eine HF-Vorspannung Substrat-Stromversorgung. SH-450-T10 hat eine kompakte Bauweise, die eine einfache Installation und Bedienung ermöglicht. Das System nutzt ein Hochleistungs-HF-Magnetron, das bis zu 450 W Gleichstromleistung für die Filmabscheidung bereitstellen kann. Die HF-Magnetron-Sputterquelle ist einstellbar und verfügt über zwei unabhängige Betriebsarten: linearen Modus und vollen Burst-Modus. Im linearen Betriebsmodus können ULVAC- SH-450-T10 bei niedrigeren, optimierten Leistungspegeln für gleichmäßige Filmdicke und wiederholbare Leistung arbeiten. Im Full-Burst-Modus kann die Einheit höhere Abscheidungsraten für größere Flächenabscheidung erreichen. Die Maschine verfügt außerdem über ein Bogenunterdrückungswerkzeug für den Pulsmodus, das den Lichtbogen im Zusammenhang mit Hochleistungsbetrieb und einer verbesserten Substratkühlung reduziert. SH-450-T10 verfügt über eine HF-Bias-Quelle, die reduzierte Sputterraten und eine verbesserte Filmhaftung ermöglicht. Die HF-Vorspannung hat eine unabhängige Steuerung von bis zu 400 Watt und bietet eine hervorragende Kontrolle über den Ionenfluss während des Sputterprozesses. Zusätzlich kann die HF-Leistungsmodulation verwendet werden, um die Abscheidungsgleichförmigkeit über das Ziel zu maximieren. Das Modell umfasst eine sichere Datenverwaltungsausrüstung, die alle Daten auf eingehenden Wafern speichern kann, einschließlich Abscheiderate, Dicke und Zykluszeit. Diese Daten werden sicher gespeichert, so dass autorisiertes Personal auf die Einstellungen für einzelne Wafer zugreifen und diese anpassen kann. Das System umfasst auch eine vollautomatisierte zentrale Steuereinheit mit vordefinierten Rezepten. ULVAC SH-450-T10 Magnetron-Sputtermaschine ist ein Hochleistungs-DC-Sputterwerkzeug, das hervorragende Filmabscheidungseigenschaften bietet. Das einstellbare HF-Magnetron, die HF-Bias-Quelle und die automatisierte zentrale Steuereinrichtung bieten eine hervorragende Präzision und Reproduzierbarkeit, während das Datenverwaltungsmodell eine sichere Datenspeicherung und -abfrage ermöglicht. Die Ausrüstung bietet hervorragende Leistung und Wiederholbarkeit für hohe Serienproduktion.