Gebraucht ULVAC SIH-3030 #9067203 zu verkaufen
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ID: 9067203
Weinlese: 2004
Sputtering system
Substrate: 370mm x 470mm
Heating: MAX250C
Pumping: Cryo and Mechanical Pump
Sputtering source: (3) 5 x 15 High Rate Magnetron Cathode
Power Supply: DC5KW RF3KW
Process Gus: Ar and O2
2004 vintage.
ULVAC SIH-3030 ist ein Magnetron-Sputtergerät, das für verschiedene physikalische Dampfabscheidungstechniken (PVD) verwendet wird. Es ist für überlegene Positionsgenauigkeit, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und erhöhte Stabilität in einzelnen und mehreren Zielprozessen konzipiert. Das All-in-One-Design SIH-3030 Sputtersystems umfasst eine Standardladung und ein angrenzendes Probenboot, das vollständig in die Kammer integriert ist. Die große Kammer bietet eine großzügige axiale Länge von 349 mm und zwei optionale Scharniertüren für einen einfachen Zugang. Seine einstellbare, geschlossene, variabel frequente turbomolekulare Pumpeinheit sorgt für einen minimalen Basisdruck von 1,6x10-4 Pa in den Sputterkammern. ULVAC SIH-3030 ist in der Lage, bis zu drei Sputterquellen gleichzeitig zu verwenden und kann den kontinuierlichen Kathodenbelastungsvorgang für die Langzeitanwendung aufrechterhalten. SIH-3030 Sputtermaschine verfügt über eine breite Palette einstellbarer Betriebsparameter, um Abscheiderate und Gleichmäßigkeit zu maximieren. Diese Parameter umfassen die Temperaturregelung von 0-400 C, den einstellbaren Source-to-Substrat-Abstand und die Möglichkeit, zwischen einer festen Gleichstromversorgung oder einer optionalen Wechselstromsubstratvorspannung für eine verbesserte Adhäsion und Oberflächentexturierung zu wählen. Das Werkzeug enthält auch eine programmierbare elektrostatische Abschirmung zur Optimierung der Ionenbeschussstufen für eine bessere Filmgleichförmigkeit. Für eine verbesserte Substrathandhabung verfügt die Anlage standardmäßig über eine Substratkühlleitung und eine optional einstellbare Substratheizleitung für eine verbesserte Materialdesorption. Das fortschrittliche Sicherheitsmodell von ULVAC SIH-3030 kann verwendet werden, um die Kammerbedingungen zu überwachen und Komponenten vor potenziellen Stromstößen zu schützen. Darüber hinaus sorgt der Touchscreen-Controller für eine einfache Bedienung und schnelle Produktionszeit. SIH-3030 Sputtersystem ist ideal für den Einsatz in der Forschung und Produktion von Folien für die Halbleiter-, Luft- und Raumfahrt-, Automobil- und Flachbildschirmindustrie. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und zuverlässige Leistung machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine Vielzahl von PVD-Anwendungen.
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