Gebraucht ULVAC SIH-450 #9313935 zu verkaufen

ULVAC SIH-450 ist eine High-End-Sputterausrüstung, die von ULVAC für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt und hergestellt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um eine zuverlässige und konsistente Sputterverarbeitung in den anspruchsvollsten Vakuumabscheidungsanwendungen zu ermöglichen. SIH-450 ist eine Lösung aus einer Hand für reaktives und inertes Sputtern sowie Magnetronsputtern. ULVAC SIH-450 hat eine bearbeitbare Fläche von 800mm x 600 mm und kommt auch mit einer integrierten Platine, die eine konsistente Waferkühlung sowohl in als abgeschiedenen und nach der Abscheidung Prozesse ermöglicht. Mit einer Temperaturgleichmäßigkeit von +/- 0,5 ° C stellt diese Einheit sicher, dass Prozesse temperatur- und druckoptimiert sind, um eine sehr gleichmäßige Sputterabscheidung zu ermöglichen. Die Maschine ist mit unabhängiger Leistungsregelung für jedes Ziel und maximaler 12kW der Gleichstromleistung ausgestattet. Es verfügt außerdem über eine Ionenquelle, die eine präzise Ionenreinigung ermöglicht und den Sputterprozess unterstützt. Darüber hinaus ist SIH-450 mit einer robusten und zuverlässigen Turbomolekularpumpe ausgestattet, die ULVAC All-MFC (Monitored Flow Control) -konsistente Sputter-Abscheidungssteuerung verbindet, um eine genaue molare Durchflusssteuerung zu gewährleisten. Das Werkzeug bietet eine breite Palette von einstellbaren Kammerparametern wie Vakuumniveau, Prozessdruck, Temperatur und Zeit, die alle extrem einfach zu steuern und zu überwachen sind. Dieses Asset ist auch mit einer intuitiven Touchscreen-Schnittstelle ausgestattet, die zur Steuerung des Sooth-Betriebs, zur Bereitstellung von Echtzeit-Prozessdaten und zum Fernzugriff verwendet werden kann. ULVAC- SIH-450 können eine breite Palette von Prozessen wie PVD und CVD abdecken, von der Dünnschichtabscheidung bis zur Dickschichtabscheidung, sowie Sputtern von Si, Si-Ge, Si-C und anderen Substraten. Mit seiner hervorragenden Steuerungsleistung, einfachen Bedienung und niedrigen Betriebskosten ist SIH-450 eine zuverlässige und kosteneffiziente Möglichkeit, die Prozesserträge zu verbessern und Zykluszeiten zu reduzieren.