Gebraucht ULVAC SIH-4545 #9050844 zu verkaufen

ULVAC SIH-4545 ist eine fortschrittliche Sputteranlage, die bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten verwendet wird. Es wurde entwickelt, um eine gleichmäßige und präzise Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten mit großer Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Das System kann auch zur Dünnschichtabscheidung für komplexe Strukturen wie Leiterbahnen und Metalloxidwiderstände eingesetzt werden. SIH-4545 Einheit besteht aus vier unabhängigen Sputterquellen und einer Lastschloßkammer. Die Quellen, die jeweils mit 2800W Magnetrons betrieben werden, sind an der Vorderseite der Maschine montiert. Dies ermöglicht eine gleichmäßige und gleichmäßige Zerstäubung des Zielmaterials der Wahl und verfügt über eine breite Palette von Prozessgasen, einschließlich Argon, Stickstoff und Sauerstoff. Zur präzisen Kontrolle des Plasmasputterprozesses ist ein reproduzierbares, hochauflösendes Verschlusswerkzeug enthalten. Die Lastschloßkammer ist für eine schnelle Probenbeladung ausgelegt und bietet automatisierte Probenanalysen und Probenoberflächenvorbehandlungen (wie Plasma Activated Cleaning und Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Diese Funktion erhöht die Vielseitigkeit des Vermögenswertes weiter. ULVAC SIH-4545 verfügt über eine Reihe weiterer Funktionen zur Verbesserung der Produktivität. Sie kann beispielsweise hohe Abscheideraten von bis zu 2000 nm/min erreichen. Je nach Material kann sie auch eine hohe Gleichmäßigkeit über große Flächen von mehr als 90% erreichen. Seine durchschnittliche Abscheidungsgleichförmigkeit liegt innerhalb von 1-2%, und das Modell ist auch entworfen, um die anspruchsvollsten Anforderungen an fehlerfreie dünne Filme zu erfüllen. Die Ausrüstung entspricht den Sicherheitsstandards und ist robust und zuverlässig mit einer Lebensdauer von mehr als 30.000 Stunden. Es wird auch mit einer integrierten Kälteanlage und einer wartungsarmen Wasserrecyclinganlage geliefert. Schließlich bietet ULVAC eine breite Palette an Zubehör, wie Messwerkzeuge, Prozessautomatisierungssysteme und ein erweiterbares Filmmonitormodul. Insgesamt ist SIH-4545 eine vielseitige, zuverlässige und leistungsstarke Sputtermaschine. Sein breites Leistungsspektrum ermöglicht eine qualitativ hochwertige und präzise Dünnschichtabscheidung auf großen Substraten. Es ist benutzerfreundlich konzipiert und bietet hohe Leistung und Zuverlässigkeit für eine breite Palette von mikroelektronischen Geräteherstellungsanwendungen.