Gebraucht ULVAC SIV-200S #9162025 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SIV-200S
ID: 9162025
Sputtering systems (6) Substrate holders, 4" MFC: Ar 200 sccm O2 2 sccm H2O 5 sccm Pumping system: ULVAC U-8H Cryo pump ER400 Dry pump 2010 vintage.
ULVAC SIV-200S ist eine hochmoderne Sputteranlage, die dünne Materialschichten für eine Vielzahl von Anwendungen auf Substraten aufbringt. Dieses System nutzt Hochfrequenzsputtern, um ein Zielmaterial zu verdampfen und das verdampfte Material gleichmäßig auf ein Substrat abzuscheiden. An Bord SIV-200S befinden sich zwei planare Magnetrons, die jeweils die Hälfte der Einheit ausmachen. Die Konstruktion der Maschine ermöglicht Dual-Target-Betrieb, so dass es möglich ist, zwei verschiedene Materialien auf einem Substrat mit einem einzigen Lauf abzulegen, wodurch die Fertigungszeit und -kosten reduziert werden. Zusätzlich weist das Werkzeug eine automatische Entgasungskammer zur Reinigung der Kammer auf, die auch die Abscheidegleichmäßigkeit maximiert. Die Anlage ist mit einer Hochleistungs-Vakuumpumpe ausgestattet, die einen Druck von 1,3 x 10-3 Pa erreichen und entweder im kontinuierlichen oder Chargenverarbeitungsmodus arbeiten kann. Dies ist für bestimmte Folien besonders wichtig, da zur Herstellung hochwertiger Dünnschichten ein Niederdrucksubstrat benötigt wird. ULVAC SIV-200S verfügt auch über eine präzise Temperaturregelung; sowohl die Kammer als auch der Substrathalter werden einzeln von zwei unabhängigen luftgekühlten Temperaturreglern gesteuert, die eine präzise und gleichmäßige Abscheidung des richtigen Temperaturfensters zur Beseitigung der Entstehung von Defekten in der abgeschiedenen Folie ermöglichen. Hochwertige dünne Folien können aufgrund ihres gleichmäßigen Schichtdickenmodells, das Substrat und Target unabhängig von der Dicke oder dem Abstand des Zielmaterials vom Substrat in einem konstanten Spalt hält, präzise und schnell mit SIV-200S abgeschieden werden. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat. Zusätzlich sind ein schneller PCR-Scan und ein Foliendicke-Monitor Standard an der Ausrüstung. ULVAC SIV-200S ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Sputtersystem, das die für dünnere und gleichmäßigere Dünnschichten erforderliche Präzision und Genauigkeit bietet. Mit seiner leistungsstarken Vakuumpumpe, einer Dual-Magnetron-Einheit, einer präzisen Temperaturregelung, einer gleichmäßigen Foliendickenmaschine und der Fähigkeit, zwei verschiedene Hersteller in einem Lauf abzulegen, ist SIV-200S eine gute Wahl für die Abscheidung einer Vielzahl von dünnen Filmen.
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