Gebraucht ULVAC SIV-200S #9266436 zu verkaufen

ULVAC SIV-200S
Hersteller
ULVAC
Modell
SIV-200S
ID: 9266436
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Sputtering system, 6" (2) ITO Films 2010 vintage.
ULVAC SIV-200S ist eine Multikathoden-Sputteranlage, die bei der Abscheidung dünner Filme verwendet wird. Das System wurde entwickelt, um eine überlegene gleichmäßige Dünnschichtabscheidung für eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Halbleiter und Isolatoren bereitzustellen. SIV-200S verfügt über einen einzigartigen zweistufigen Magnetronsputterkopf, der eine gleichmäßige Filmabscheidung auf den unterschiedlichsten Komponenten ermöglicht. Darüber hinaus ist die Einheit optimal für dickere Schichten aus Kohlenstoff und Substraten höherer Temperatur. Herzstück der ULVAC SIV-200S Maschine ist der hybride Hohlkathodensputterkopf. Der Kopf hat zwei separat betätigbare Magnetronpistolen, die sowohl das Sputtern eines Targets als auch eines Hilfsmaterials ermöglichen. Dieser Hybridkopf kann Materialien mit kristallographischer Orientierungssteuerung abscheiden oder unabhängige Abscheidungen mehrerer Materialien durchführen. Die beiden separat einstellbaren Kathodenquellen, beide mit unabhängigen Hochtemperaturanschlüssen, sorgen für eine optimale Kontrolle der Materialabscheidung und bieten ideale Bedingungen für unterschiedlichste Folien. Neben seinem einzigartigen Hohlkathoden-Hybrid-Sputterkopf verfügt SIV-200S auch über ein Load-Lock-Tool, mit dem Proben schnell und bequem be- oder entladen werden können, ohne die Vakuumqualität zu beeinträchtigen. Die Load-Lock-Anlage verhindert Rückverschmutzung und sorgt für konsistente und genaue Ergebnisse. ULVAC SIV-200S umfasst auch eine voll integrierte dreiachsige Kammer. Diese Kammer sorgt dafür, dass Substrat und Quelle für Präzisionssputtern perfekt ausgerichtet sind. Ein voll integriertes Kühlmodell und eine Heizstufe sorgen zudem für eine präzise Temperaturregelung während des gesamten Sputterprozesses. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von fortschrittlichen Werkzeugen wie Röntgendetektoren, Ionenmessgeräten und Massenspektrometern kompatibel. Diese Werkzeuge gewährleisten die Genauigkeit und Genauigkeit während des Abscheideprozesses. Insgesamt ist SIV-200S System eine fortschrittliche Sputtereinheit, die eine überlegene gleichmäßige Dünnschichtabscheidung und eine präzise Temperaturregelung bietet. Es ist ideal für diejenigen, die Präzisionssputtern benötigen, da der Hybridkopf und die integrierte Kühlmaschine für Gleichmäßigkeit und Genauigkeit sorgen. Damit ist ULVAC SIV-200S eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl verschiedener Dünnschichtabscheidungsprozesse.
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