Gebraucht ULVAC SIV-850 #9050843 zu verkaufen
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ID: 9050843
Weinlese: 2006
Vertical inline sputtering system
Includes:
Sputtering method: RF Sputtering side moving deposition
Process: Exhaust operation, film-forming operation
Exhaust system: Turbo molecular dry pump
Process Gas: Ar, O2
Substrate: 850 mm x 1250 mm (max. effective)
No return system
2006 vintage.
ULVAC SIV-850 ist eine PVD (Physical Vapor Deposition) Sputteranlage für industrielle Anwendungen. Das System basiert auf ULVAC einzigartiger Magnetron-Sputtertechnologie und ist in der Lage, dünne Filme aus Metallen, Oxiden und anderen Materialien auf einer breiten Palette von Substraten zu produzieren. Das fortschrittliche Design des Geräts ist auf Leistung und Einfachheit mit einem kompakten Platzbedarf und niedrigen Betriebskosten optimiert. SIV-850 bietet automatisierte Steuerung von Prozessparametern wie Temperatur, Druck, HF-Leistung und Leistungsdichte. Die Maschine nutzt mehrere Sputterquellen, die entweder in DC-, Puls-DC- oder HF-Modi betrieben werden und eine große Bandbreite an potentiellen Anwendungen ermöglichen. Das Werkzeug ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von Materialtypen konzipiert, einschließlich reiner Metall- und Legierungsziele und komplexer Mehrschichtstapel, wodurch es die Flexibilität bietet, eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsbedürfnissen zu erfüllen. Die Anlage ist für Reinraumbetrieb zertifiziert, mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich automatischer Abschaltung, wenn sichere Betriebsparameter überschritten werden. Es ist auch ausgelegt, um eine konstante Temperatur innerhalb der Abscheidekammer zu halten, die gleichmäßige und reproduzierbare Ergebnisse liefert. Es bietet auch die Möglichkeit, Prozessparameter in Echtzeit über seine eingebaute Benutzeroberfläche zu überwachen, was eine einfache Optimierung von Prozessrezepten ermöglicht. Das fortschrittliche Design des Modells sorgt auch dafür, dass die Abscheiderate sehr konsistent und wiederholbar ist und gleichzeitig die Partikelabscheidung reduziert wird. Dadurch werden auch bei der Verarbeitung komplexer Strukturen mit hohen Abscheidegeschwindigkeiten zuverlässige Schichten sehr dünner Folien bereitgestellt. Darüber hinaus ermöglicht die von ULVAC patentierte „Direct Write“ -Technologie die Punktabscheidung, so dass Material nur dort abgelegt werden kann, wo es benötigt wird. ULVAC SIV-850 ist eine ausgezeichnete Wahl für industrielle Dünnschichtabscheidungsanwendungen und bietet hervorragende Leistung, Flexibilität und Zuverlässigkeit. Es ist auch eine erschwingliche Ausrüstung, so dass es attraktiv für kleine und große Produktionsumgebungen.
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