Gebraucht ULVAC SMD-1800 #9384066 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SMD-1800
ID: 9384066
Sputtering system Type: G6 Multi chamber cluster TFT Panel (107) Parts vacuum.
ULVAC SMD-1800 ist eine Hochleistungssputteranlage, die häufig bei der Herstellung von Dünnschichtgeräten verwendet wird. Es ist für industrielle Anwendungen konzipiert, in denen überlegene Sputterbeschichtungsqualität entscheidend ist. SMD-1800 verwendet ein HF-Sputterverfahren vom Diodentyp zur hochratengemusterten Sputterabscheidung mit integriertem fünfachsigen Roboterarm. Die Sputtereinheit ist eine Doppelkopfkonfiguration mit externen Magnetronquellen und individuellen DC- oder RF-Stromversorgungen für jede Quelle. Das Gerät bietet eine breite Palette von Kollektormaterialien wie Aluminium, Titan, Kupfer und Legierung. Das System verfügt über eine flexible Innenstruktur für einfache Wartung und Wartbarkeit mit einfacher manueller Ausrichtung der Quellen. Die einstellbare Sputterdruckkammer ermöglicht eine präzise Steuerung der Argonumgebung und eignet sich somit ideal für die strukturierte und gleichmäßige Sputterabscheidung auf ebenen Substraten. Die HF-Frequenz ist einstellbar, was in Kombination mit einem extern angelegten axialen Magnetfeld eine größere Flexibilität bei der Abscheidung von Filmen ermöglicht. Das Gerät verfügt außerdem über eine optionale Substrat-Heizplatte zur Erhöhung der Abscheidegleichmäßigkeit sowie mehrere In-situ-Monitorwerkzeuge zur erhöhten Prozesssteuerung. ULVAC SMD-1800 ist eine vollautomatische Maschine mit Echtzeit-Job-Steuerung und Prozessoptimierung GUI. Der Roboterarm kann bis zu 6 „x6“ Substrate aufnehmen und ist in der Lage, sowohl gemusterte als auch nicht gemusterte Substrate in die und aus der Zerstäubungsumgebung zu übertragen. Dies macht es ideal für Anwendungen von planaren Datenspeichern über Dünnschichttransistoren bis hin zu anderen Sputter-Abscheidungsanwendungen. Das Gesamtwerkzeug ist ein hocheffizientes Asset und bietet eine hervorragende Prozessfähigkeit und Qualität. Es eignet sich gut zum Abscheiden und Beschichten von dünnen Filmen mit hoher Geschwindigkeit mit Präzision und Genauigkeit. Es ist auch sehr sicher, mit mehreren Funktionen zum Schutz vor versehentlichen Gefahren. Mit ausgezeichneter Sputterrate, Gleichmäßigkeit der Dicke und Prozessstabilität ist SMD-1800 sicher, Ihnen die Ergebnisse zu geben, die Sie suchen.
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