Gebraucht ULVAC SMD-1800X #9313943 zu verkaufen

ULVAC SMD-1800X ist eine Sputteranlage für hochwertige Dünnschichtabscheidung. Das System besteht aus einer fortschrittlichen bewegungsgesteuerten Bewegungssputtereinheit, einer Ultrahochvakuumkammer für eine effiziente Kammerevakuierung und einer einzigartigen, anspruchsvollen Prozessmaschine, die ein intelligentes Prozessmanagementwerkzeug umfasst. Die bewegungsgesteuerte Sputteranlage ist in der Lage, sowohl reaktive als auch nicht-reaktive dünne Filme zu erzeugen. Es besteht aus vier Sputterquellen, die bis zu drei Verbindungen einzeln oder gleichzeitig sputtern können. Es enthält auch eine Achtmagnetscheibe, die für eine stabile Zerstäubungsumgebung auf der Targetkammer montiert ist. Die Magnetscheibe sorgt für eine gleichmäßige Filmabscheidung auf dem Substrat und minimiert Abscheidungsfehler. Die Hochleistungskammer evakuiert schnell und erreicht in kurzer Zeit Ultrahochvakuum. Es hat eine offene Kammerkonstruktion und umfasst vier optische Fenster zur Überwachung und Steuerung des Abscheideprozesses. Darüber hinaus ist es mit einem effizienten, mehrzonigen Höhenmodell für Substratwiderstände ausgestattet. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Substraterhöhung zur Aufrechterhaltung der gewünschten Kammertemperatur. Die multifunktionale Prozessausrüstung umfasst ein fortschrittliches, leistungsstarkes Substratpositioniersystem und einen modernen Substrattemperaturregler. Dazu gehört auch die Intelligent Process Management Unit (IPMS), die für die einfache Einrichtung von Prozessparametern konzipiert ist und ein schnelles Feedback zur Qualität der abgeschiedenen Folie liefert. Die Funktion „Prozessüberprüfung“ kann während des gesamten Ablagerungsprozesses verschiedene Überprüfungen durchführen, um Informationen über die Leistung des Ablagerungsprozesses bereitzustellen. Durch die Verwendung der fortschrittlichen Technologie in SMD-1800X Maschine, Dünnschichtabscheidung kann mit erhöhter Genauigkeit und Geschwindigkeit bei gleichzeitiger Senkung der Prozesskosten erreicht werden. Mit seiner präzisen und effizienten Bedienung bietet das Werkzeug ideale Voraussetzungen sowohl für die Herstellung fortschrittlicher elektronischer Geräte als auch für die Dünnschichtforschung.