Gebraucht ULVAC SMD-450 #9269728 zu verkaufen

ULVAC SMD-450
Hersteller
ULVAC
Modell
SMD-450
ID: 9269728
Sputtering systems Chamber.
ULVAC SMD-450 Sputtering Equipment ist ein hochpräzises Sputterabscheidungssystem, das zum Abscheiden dünner Filme auf Proben für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet wird. Das Gerät besteht aus einer Mehrkammermaschine, die eine Vielzahl von Sputteroptionen bietet, einschließlich eines Magnetron-Sputterwerkzeugs, einer Elektronenstrahlverdampfung und einer schalungslosen Sputterabscheidung. Jede Komponentenkammer SMD-450 Sputtermodells arbeitet unabhängig voneinander und nutzt einen eigenen Prozessregler mit einem Betriebsdruck von bis zu 1,0 mTorr. Der Lastschlossraum wird verwendet, um Proben in die Ausrüstung einzuführen, und auch Entgasen und Beispielvorbereitungszentrifugenoperationen auf Anfrage durchzuführen. Das System kann auch zur Verarbeitung verschiedener Substrate wie Glas, Quarz und Keramik sowie kristalliner Materialien wie Si, SiGe und Ge verwendet werden. Der Probengrößenbereich für die Einheit ist von 5mm x 5mm bis 200mm x 200mm. Die Magnetronsputtermaschine von ULVAC SMD-450 kann zur Abscheidung von Metallfolien wie Al, Cu, Au, Ta, Ag und Ni eingesetzt werden. Durch den Einsatz modernster Technologien ist das Werkzeug in der Lage, hochwertige Dünnschichten mit geringer Restspannung und ausgezeichneter Haftung herzustellen. Darüber hinaus ist SMD-450 auch mit einem In-situ-Plasma-Monitoring ausgestattet, das eine genaue Prozesskontrolle und Messung der Eigenschaften der abgeschiedenen Folien ermöglicht. Die Elektronenstrahl-Verdampfungskomponente von ULVAC SMD-450 verwendet eine Elektronenstrahl-Pistole, die seitlich an der Sputterkammer angebracht ist. Diese Komponente ist ideal für den Einsatz in Verdampfungsanwendungen, wie Abscheidung von Spezialmetallen, Legierungsabscheidung und Silizidbildung. Das schalungslose Sputterabscheidungsmodell, das aufgrund seiner Fähigkeit, mehrere Materialschichten kontinuierlich abzuscheiden, in SMD-450 offerseele und zuverlässige Bearbeitungszeiten integriert ist, ohne dass eine mechanische Schaltung der Prozesskammer erforderlich ist. Schließlich bietet ULVAC SMD-450 dem Anwender eine breite Palette von Prozesssteuerungsoptionen, einschließlich einer automatisierten Temperatursteuerungseinrichtung und einem Echtzeitmonitor für die Probenkammer, der präzise Sputterabscheidungszeit, Gleichmäßigkeit und gleichmäßige Oberflächendeckung liefert. SMD-450 ist ein zuverlässiges und hochpräzises Sputtersystem, das genaue und wiederholbare Abscheidungsergebnisse für eine Vielzahl von Anwendungen liefern kann.
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