Gebraucht ULVAC SMD-450 #9412542 zu verkaufen
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ULVAC SMD-450 ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Sputtersystem für den industriellen Einsatz. Es verwendet Ultrahochvakuum-Technologie, um dünne Filme aus verschiedenen Materialien auf Gegenständen unterschiedlicher Formen und Größen abzulegen. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Oxide, Nitride und amorphes Silizium abzuscheiden. Als solches ist es für die Forschung in Bereichen wie Optoelektronik, Mikrostrukturen und Nanotechnologie nützlich. Die Maschine besteht aus zwei Grundabschnitten; die Kammer und die Auspuffeinheit. Der Kammerabschnitt enthält eine Probe Heizung/Kühlung hintere Abdeckung, 250mm vordere Abdeckung, Vakuumentlüftungsventil, einen Gaseinlass/-auslass und Vakuumpumpenleitungen. Die Bearbeitungskammer besteht aus einem evakuierten Edelstahlzylinder. Diese Kammer sorgt für eine hohe Gleichmäßigkeit in Bezug auf Druck und Temperatur, wodurch homogenes Sputtern gefördert wird. Die Kammer kann Proben mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm und einer Dicke von 50 mm aufnehmen. Die Abgasanlage besteht aus einem Lastschlosssystem, Vakuumpumpen, Abgasleitungen und einem variablen Magnetfeld. Es ermöglicht einen schnellen Materialtransfer zwischen Vakuum und atmosphärischer Umgebung, ohne die Atmosphäre in der Hauptkammer zu beeinträchtigen. Das Lastschloss ermöglicht einen schnellen und effizienten Probenaustausch. Die Vakuumpumpen sorgen für ein hohes Vakuum in der Kammer und halten es während des gesamten Prozesses aufrecht. Das variable magnetische Feld ermöglicht die Manipulation des Einfallswinkels des Ziel-Ionenstrahls und damit die Steuerung der Gleichmäßigkeit der gesputterten Filme. Darüber hinaus ist SMD-450 mit einem Zielnetzteil, einem HF-Anpassungsnetz, einem HF-Generator und einem Hochspannungsnetzteil ausgestattet. Das Zielnetzteil bringt DC-Energie auf das Zielmaterial auf, was eine maßgeschneiderte Sputterabscheidung ermöglicht. Das HF-Anpassungsnetzwerk bietet eine Impedanzanpassung zwischen dem Zielmaterial und dem Plasma. Der HF-Generator erzeugt die Hochfrequenzleistung, die die Gasmoleküle erregt, was zu einer selbsttragenden Plasmaentladung führt. Schließlich ist die Hochspannungsversorgung für die Erzeugung der am Substrat anliegenden Vorspannung verantwortlich, die eine Steuerung der Schichtdicke und Gleichmäßigkeit ermöglicht. ULVAC SMD-450 wurde entwickelt, um eine konsistente und zuverlässige Sputterabscheidung für industrielle Anwendungen zu ermöglichen. Hocheffizient, es ist eine ideale Wahl für die Forschung in der Werkstofftechnik und Nanotechnologie.
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