Gebraucht ULVAC SME-200 #9156855 zu verkaufen

ULVAC SME-200
Hersteller
ULVAC
Modell
SME-200
ID: 9156855
Sputtering system 2010 vintage.
ULVAC SME-200 ist ein Magnetron-Sputtergerät. Es ist ein fortschrittliches System, das verwendet wird, um dünne Filme aus bestimmten Materialien auf einer Oberfläche abzuscheiden. Es ist eine automatisierte Einheit, die eine wiederholbare Dünnschichtabscheidung ermöglicht, mit einstellbaren Parametern, die eine breite Palette von Abscheidungsqualität und Filmeigenschaften ermöglichen. Die Maschine ULVAC SME 200 besteht aus einer Niedervakuumkammer, zwei unabhängigen Sputterquellen, einer Elektronenstrahlquelle, einem HF-Coater und einer Drehzielquelle. Unter Verwendung der entsprechenden Quelle wird ein Substrat in der Kammer entweder ionisierten Gaspartikeln eines Sputtertargets, Elektronen oder Hochfrequenzwellen ausgesetzt. Die Ionen, Elektronen oder Hochfrequenzwellen aus diesen Quellen schlagen auf und lösen Moleküle aus dem Target, die dann auf dem Substrat haften und den gewünschten Film bilden. SME-200 Werkzeug kann zwei Substrate unterschiedlicher Größe handhaben, was eine effizientere Produktion ermöglicht. Beide Sputterquellen haben ein Leistungsbudget von 2kW und sind mit einem fokussierten Magnetron ausgestattet, um eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Sputtertiefe und Gleichmäßigkeit zu erreichen. Der Substrathalter kann ein- und zweiseitige Wafer mit verschiedenen Größen/Arten von Substraten wie Glas, Quarz, Silizium, Aluminium und Metallen unterstützen. Die Kammer verfügt außerdem über eine variable Druckanlage, eine Turbopumpe und eine Kryopumpe, die eine kontrollierte Atmosphäre und Vakuumspiegel für die Abscheidung ermöglicht, wodurch eine genauere Kontrolle des Abscheidungsprozesses ermöglicht wird. KMU 200 ist mit zahlreichen Modellsensoren ausgestattet, die eine Echtzeitüberwachung aller Prozessparameter und des Gasflusses ermöglichen. Die Software des Geräts ermöglicht die Fernbedienung aller Parameter während der Abscheidung und ermöglicht eine vollständige Kontrolle des Abscheidungsprozesses. Dank des fortschrittlichen Designs und der einstellbaren Parameter des Systems kann das Gerät verwendet werden, um eine Reihe von Folien aus verschiedenen Materialien und Eigenschaften abzuscheiden, was es zu einer sehr vielseitigen Sputtermaschine macht, die für verschiedene Anwendungen geeignet ist.
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