Gebraucht ULVAC SME-200 #9293517 zu verkaufen

ULVAC KMU 200 stotternde Ausrüstung werden für dünne Hochleistungsfilmabsetzungsanwendungen an industrieführenden niedrigen Kosten des Eigentumsrechts entworfen. Es bietet einen niedrigen Vakuum, schnellen Sputterprozess mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Steuerbarkeit. ULVAC SME 200 ist mit zwei separaten Zielhaltern ausgestattet, von denen einer ein Sputtertarget mit einem PBN (Pyrolytic Boron Nitrid) -Dielektrikum ist. Dadurch kann das System sowohl metallische als auch dielektrische Folien abscheiden. Das Dielektrikum weist eine extrem geringe Sputterausbeute auf, die das Risiko von Sputterpartikeln auf vorherige Dünnschichtschichten minimiert. Darüber hinaus können beide Targets gleichzeitig zur Abscheidung von Metallen und Dielektrika in einem einzigen Arbeitsgang oder abwechselnd zur zusätzlichen Abscheidegeschwindigkeit verwendet werden. SME-200 verfügt auch über eine Lastverschlusskammer und einen beheizten Substrathalter, der bis zu vier 4-Zoll-Waferproben aufnehmen kann. Dies ermöglicht ein schnelles Be- und Entladen von Proben unter Vakuum. Die Heizung hat einen Bereich von 0 ° C bis 400 ° C, ideal für die thermische Verarbeitung der Wafer. Das Gerät verfügt über eine hohe Abscheidegeschwindigkeit bei wiederholbarer rezeptbasierter Abscheideprozesssteuerung. Darüber hinaus ist es mit einer QMS-200 (Quality Monitoring Machine) ausgestattet, die die Zielbedingungen automatisch überwacht und Funktionen zur Datenüberwachung und Qualitätskontrolle bereitstellt. KMU 200 ist ein leistungsstarkes Sputterwerkzeug, das eine Vielzahl von Anwendungen von Schutzschichten und Barriereschichten bis hin zu Planarisierungsschichten bewältigen kann. ULVAC bietet auch eine Reihe weiterer Sputter-Asset-Modelle der KMU-Serie für verschiedene Sputteranforderungen an.