Gebraucht ULVAC SME-200E #9379717 zu verkaufen

ULVAC SME-200E ist eine Sputteranlage zum Abscheiden von dünnen Schichten für eine Vielzahl von Anwendungen einschließlich Halbleiterverarbeitung. Es verwendet erweitertes magnetisch verbessertes (EME) Sputtern, ein Verfahren, das Elektromagnetismus mit Sputtern kombiniert, um Beschichtungsfilme auf starren und flexiblen Substraten zu erzeugen. Das Sputterbeschichtungssystem verfügt über fortschrittliche Technologie mit hoher Abscheidungsgleichmäßigkeit und Präzision für die Herstellung hochwertiger Folien. SME-200E hat eine zuverlässige lineare Down-Jet-Zielkonfiguration. Dies ermöglicht einen präzisen Zielbetrieb mit dreidimensionalem Ätzen und die Sputterfähigkeit im Hochvakuum. Das Gerät verfügt über eine Ost/West-Drehebene, die eine einfache Wartung und eine verbesserte Kompatibilität mit einer Vielzahl von Substraten ermöglicht. Die Regelmaschine bietet ein sehr stabiles und gleichmäßiges Sputtern für dünne Folien bis 200 mm Durchmesser. Das Tool enthält auch ein automatisches Laden, automatisches Entladen von Elementen zur berührungslosen Bearbeitung und Übertragung von Substraten. Dies gewährleistet eine präzise Positionierung bei hervorragenden Produktionsausbeuten. ULVAC SME-200E umfasst sowohl eine zweiachsige Rotationsstufe für eine verbesserte Abscheidungsgleichmäßigkeit als auch ein rotierendes Revolver-Duschmodell, um einen schnellen, einfachen Zielmaterialaustausch zu ermöglichen. Die neu geschaffene Abscheidekammer bewahrt Ziel- und Substratbedingungen und ermöglicht die Inbetriebnahme mit jeder Art von Beschichtungsmaterial. Diese einzigartige Sputterausrüstung verfügt auch über ULVAC exklusive Pack-Anime-Software für Prozessbetrieb, Ablagerungssteuerung und Rezeptprogrammierung. Die Software bietet Rezept-Bearbeitungs-, Überwachungs- und Analysewerkzeuge, die einen effizienten, wiederholbaren Betrieb mit überlegener Beschichtungsgleichförmigkeit ermöglichen. Die benutzerfreundliche Oberfläche sorgt für hohe Produktivität bei minimalen Ausfallzeiten bei Wartung und Anpassungen. SME-200E Sputtersystem ist für die vielseitige Herstellung hochwertiger Dünnschichten ausgelegt. Seine überlegene Technologie und seine fortschrittlichen Eigenschaften gewährleisten eine wiederholbare, gleichmäßige und präzise Abscheidung einer Vielzahl von Beschichtungen für Halbleiterbauelemente.