Gebraucht ULVAC SME-200E #9392582 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SME-200E
ID: 9392582
Weinlese: 2006
Sputtering system Base plate: 200 mm Dielectric module High temperature film forming module Precision distribution module Etching module LED Memes Power supply included 2006 vintage.
ULVAC SME-200E ist eine Hochleistungs-Sputteranlage für fortschrittliche Industrie- und Forschungsanwendungen. Es verfügt über drehbare und einstellbare Sputterquellen und Substrathalter, wodurch Benutzer die Flexibilität erhalten, eine breite Palette von Abscheide- und Oberflächenbehandlungsprozessen zu erreichen. SME-200E ist in der Lage, saubere, gleichmäßige und hohe Abscheidungsraten für jede Filmdicke bereitzustellen. ULVAC SME-200E ist mit einer hochmodernen Magnetron-Sputterquelle konfiguriert. Die Leistung der Magnetron-Sputterquelle kann von 0-1000 Watt variiert werden, was eine breite Palette von Targets und Filmdicken ermöglicht. Der Substrathalter ist verstellbar und kann Substrate bis zu 12 Zoll Durchmesser und 0,008 bis 0,125 Zoll Dicke aufnehmen. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen, wie Flachbildschirme, LSI- und MEMS-Geräte, magnetooptische Platten, supraleitende Filme und optische Filme. SME-200E bietet eine hochpräzise Steuerung des Sputterprozesses über eine Reihe von Steuerungssystemen. Die interne Steuerung ermöglicht es dem Benutzer, die Elektroden, die Sputterleistung, die Drehzahl und die Schichtdicke zu steuern. Das fortschrittliche Steuerungssystem von ULVAC SME-200E ermöglicht auch die Abscheidung komplexer Folien mit unterschiedlichen Komponenten. Das Gerät ist mit einem optischen Pyrometer ausgestattet, mit dem Benutzer die Temperatur des Substrathalters überwachen können. SME-200E ist mit einem elektrostatischen Schild und einer integrierten Gasverteilmaschine aufgebaut, die die Abscheidung von Filmen in einer Vielzahl von Umgebungen ermöglicht, die von Ultrahochvakuum bis zu atmosphärischen Drücken reichen. Zusätzlich können ULVAC- SME-200E an externe Geräte zur Messung der Konzentration von Gasen wie Argon, Sauerstoff und Stickstoff in der Kammer angeschlossen werden. SME-200E wird entwickelt, um Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, so dass es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Produktions- und Forschungsprozessen ist. Das Werkzeug ist in der Lage, gleichmäßige Folien mit wenigen Defekten und einer höheren Ausbeute bereitzustellen. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Aufbau der Anlage die einfache Erweiterung, Aktualisierung und Wartung des Modells und sorgt für mehr Flexibilität und Kosteneffizienz.
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