Gebraucht ULVAC SME-200J #293597222 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SME-200J
ID: 293597222
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" PM2: Platinum PM3, PM5, PM6: BST Type / PM2 / PM3 / PM3 / PM4 / PM5 / PM6 / LL / TO Current target / PT18-0008 / NH18-4049 / - / NH18-4023 / NH18-4022 / - / - Turbo controller / EI-D1003M / EI-V04M (2304) / EI-D303M / EI-V04M (2304) / EI-V04M (2304) / EI-D203M / EI-D1003M.
ULVAC SME-200J ist eine Top-Sputteranlage für den Einsatz in Branchen wie Halbleiter, Mikroelektronik, Festplattenmedien und Komponenten, Optoelektronik und optischen Geräten. Es ist ein automatisiertes Sputtersystem mit einer erweiterten Abscheidekammer, einer effizienten Lastschloßkammer und einer präzisen Steuerung. ULVAC SME 200 J hat eine effektive rechteckige Abscheidekammer, die eine gleichmäßige Verteilung der Partikel und eine verbesserte Materialabscheidungsgenauigkeit ermöglicht. Dadurch werden Teile mit konsistenter und wiederholbarer Foliendicke gut abgeschieden. Der Innenraum verfügt zudem über eine hohe Sauberkeit, die Verschmutzungen minimiert und bei der Herstellung von Teilen mit präziser Aufdampfung hilft. Die integrierte Lastschloßkammer von SME-200J lädt und entlädt Teile schnell und präzise (6 „× 6“ oder 8 „× 8“). Die Kammer hat einen einstellbaren Druck, bis zu fünf Stufen, ermöglicht eine glatte und präzise Be- und Entladung von Teilen. Außerdem ist die Kammer gasdicht und verhindert Verunreinigungen und unerwünschte Partikel. KMU 200 J verfügt über präzise Steuerungsfunktionen, die die Prozessstabilität erhöhen, einschließlich Rückkopplungssteuerung und menügesteuerte Programmierung auf dem Bildschirm. Dies ermöglicht auch eine präzise Dickenkontrolle von abgeschiedenen Folien über einen Bereich von 150 Å-3500Å mit einer Genauigkeit von 1 Å. Die Abscheidungsparameter können auch zur Automatisierung und Weichsegmentierung programmiert werden, was die programmierbare Raffinesse weiter verbessert. Darüber hinaus verfügt ULVAC SME-200J über verschiedene Sicherheitseinrichtungen, die die Sicherheit von Personal und Ausrüstung gewährleisten. Das Gerät ist mit einem Drucksensor, Notschutzeinrichtungen für anormale Operationen, einem verstärkten Vakuumdeckel und Vorvakuumentlüftungstüren ausgestattet. Dies bietet ein hohes Maß an Bedienerschutz und ermöglicht einen nahtlosen und sicheren Betrieb auch in rauen Umgebungen. Insgesamt ist ULVAC SME 200 J eine All-in-One-Sputtermaschine, die für die anspruchsvollsten Anwendungen in Branchen wie Halbleiter, Mikroelektronik, Festplattenmedien und Komponenten, Optoelektronik und optischen Geräten entwickelt wurde. Es verfügt über eine hochpräzise Abscheidekammer und eine effiziente Lastverriegelungskammer mit präzisen Steuerungsmerkmalen, die eine hohe Materialabscheidungsgenauigkeit, eine konsistente und wiederholbare Foliendicke und einen sicheren Betrieb gewährleisten.
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