Gebraucht ULVAC SME-200J #293609370 zu verkaufen

ULVAC SME-200J
Hersteller
ULVAC
Modell
SME-200J
ID: 293609370
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
ULVAC SME-200J ist eine vertikal ausgerichtete Sputterausrüstung, die in Dünnschichtbeschichtungsanwendungen weit verbreitet ist. Es besteht aus drei Hauptkomponenten: einer Vakuumkammer, einem rotierenden Sputterkopf und einer Stromversorgung. Die Kammer besteht typischerweise aus Edelstahl und enthält eine Pumpöffnung, Prozessgase und Abscheidungsventile. Die Kammer hat auch einen Evakuierungsvorgang zur Beseitigung von Oberflächenverunreinigungen. Der rotierende Sputterkopf enthält eine oder mehrere Kathoden, die von der Stromversorgung angetrieben werden, um Ionen in der Kammer zu erzeugen. Der Sputterkopf liefert den Impuls für die Abscheidung des Dünnfilms auf das Substrat. Dieses System enthält auch einen einstellbaren Gasdruckregler und ein Prozessgasventil, mit dem die Plasmaatmosphäre während des Sputtervorgangs eingestellt werden kann. Die Speisung erfolgt über einen Wechselstrom (AC), der an die Kathoden angelegt wird. Während sich die Kathoden bewegen, erzeugen sie ein elektrisches Feld in einem kontrollierten räumlichen Muster. Dieses elektrische Feld gibt dem Substrat elektrische Ladung und bewirkt damit die Abscheidung des dünnen Films auf das Substrat. Dieser Prozess wird als Sputtern bezeichnet. Die Sputterquelle innerhalb des Sputterkopfes ist auch dafür verantwortlich, dass der dünne Film gleichmäßig auf dem Substrat abgeschieden wird. Es sprüht sowohl das Bauteilmaterial als auch ein Trägergas auf das Substrat, wo das Bauteil in einer gleichmäßigen Schicht abgeschieden wird. Die Sputterquelle kann auch verwendet werden, um die Dicke des dünnen Films zu verändern, indem das Trägergas in verschiedenen Formen und Größen versprüht wird. Durch die Steuerung der Prozessgrößen wie Sputterspannung, Leistung, Abscheidungsdruck und Blindgasstrom kann der Dünnfilm die gewünschten Eigenschaften für eine bestimmte Anwendung erreichen. ULVAC SME 200 J Maschine ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für Dünnschichtbeschichtungsanwendungen. Seine Eigenschaften machen es gut geeignet für eine Vielzahl von industriellen Anwendungen, einschließlich Automobil, optische und Beschichtung von medizinischen Instrumenten. Das effiziente Design des Sputterwerkzeugs und die Fähigkeit, die Variablen zu steuern, machen es zu einer guten Wahl für das Abscheiden von dünnen Folien, um Komponenten mit den gewünschten Eigenschaften für jede Anwendung zu fertigen.
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