Gebraucht ULVAC SME-200J #293814169 zu verkaufen

ULVAC SME-200J
Hersteller
ULVAC
Modell
SME-200J
ID: 293814169
Wafergröße: 6''
Sputtering systems, 6''.
ULVAC SME-200J ist eine hochwertige Sputterausrüstung, die dünne Folien effizient auf die Oberfläche unterschiedlichster Materialien - wie Halbleiterscheiben, Glas, Metalle und Plastik - mit hoher Genauigkeit aufbringt. Das System ist ein Magnetron-Sputterwerkzeug, das eine Vielzahl von Sputterabscheidungsprozessen und -materialien induziert, einschließlich Verbundmaterialien wie Halbleiter, Oxide und Nitride. ULVAC SME 200 J ist mit zwei getrennten Sputterzielen - einem Hauptziel und einem Teilziel - ausgestattet, die von einem 200 Watt DC Magnetronsputternetzteil angetrieben werden. Dadurch kann ein ultradünner Materialfilm mit einer Dicke von bis zu 100 Nanometern gesputtert werden. Um eine einheitliche Folie zu gewährleisten, können die Gerätekonfigurationen von einem bis zwölf Gaseinlässen, einschließlich Argon, Helium, Sauerstoff, Kohlenmonoxid und vielen anderen, je nach den spezifizierten Materialanforderungen eingestellt werden. Zur Optimierung des Abscheideprozesses und zur genauen Steuerung der Prozessparameter verfügt ULVAC auch über eine geschlossene Gasdurchflussregelmaschine. Dieses Merkmal kann insbesondere bei Verfahren mit seltenen und schwer zugänglichen Elementen wie Aluminium oder Titan nützlich sein. Weitere Werkzeuge für das Werkzeug sind eine unabhängige Verschlusssteuerung und ein Druckmesser. SME-200J verfügt auch über eine automatisierte Wafer-Ausrichtung und Zentrierung Asset. Dadurch wird die höchste Genauigkeit im Abscheideprozess gewährleistet, wodurch eine Fehlausrichtung des Sputterziels vermieden wird. Das Modell kann so programmiert werden, dass es automatisch mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit arbeitet. Dadurch wird sichergestellt, daß jede Schicht mit hoher Präzision gleichmäßig abgeschieden wird. ULVAC kann auch mit einem Sortiment an anderen Komponenten und Zubehör kombiniert werden, um Leistungsfähigkeit und Materialkompatibilität zu erweitern. Insgesamt ist SME 200 J eine zuverlässige und zuverlässige Sputterausrüstung mit integrierter Präzision und Genauigkeit. Mit diesem System ist es möglich, bei der Folienabscheidung den höchsten Wirkungsgrad zu erzielen und gleichzeitig bei genauer Kontrolle aller Prozessparameter eine gleichmäßige Dicke zu erhalten. Damit ist ULVAC SME-200J ideal für Präzisionssputteranwendungen in der Halbleiter-, Optik-, Luft- und Raumfahrt- und Elektronikindustrie.
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