Gebraucht ULVAC SME-200J #9266438 zu verkaufen
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ID: 9266438
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Sputtering systems, 6"
(3) Chambers
2010 vintage.
ULVAC SME-200J Sputteranlagen sind ein vielseitiges System für verschiedene Metallisierungsprozesse in der Dünnschichtabscheidung. Es besteht aus einer HF-Stromversorgung zur Erzeugung des Sputterplasmas zusammen mit einer Kammer, die den Prozess aufnimmt. Das Gerät kann eine Vielzahl von Zielen und Gasen handhaben und bietet eine breite Palette von Sputtertechniken. ULVAC SME 200 J Sputterkammer verwendet ein planares Magnetron mit zwei senkrecht zum Ziel angeordneten Sätzen von Magneten, die eine Kontrolle der Plasmadichte ermöglichen. Diese Maschine ist auch in der Lage, die Magnete zu drehen, um die Gleichmäßigkeit des zerstäubten Materials zu optimieren. Die Kammer umfasst zwei 40 cm-Targets, eine Zieldurchführung, eine Gasdurchführung und eine Vakuumöffnung zur Evakuierung der Kammer. Es gibt auch eine spezielle Entlüftungsvorrichtung zur Reduzierung des Kontaminationsrisikos. Zur Steuerung des Sputterprozesses ist das Werkzeug mit einer programmierbaren Schnittstelle ausgestattet. Der Bediener kann Prozessparameter und Abfolge von Operationen einstellen. Parameter wie Zielstrom, Druck, Gassteuerung und Plasmabedingungen können eingestellt und überwacht werden. Diese Schnittstelle ermöglicht auch die Speicherung von Rezepten und die Überwachung der Plasmamessung. SME-200J verarbeitet große Substratbereiche mit gleichmäßiger Beschichtung von Folien. Es ist mit einem Not fall-Stop, Temperatur-Monitor und Sicherheits-Asset gebaut. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von Arten von Substrat, einschließlich Aluminium, Edelstahl, Quarz und Kunststoff. Das Sputtermodell ist ideal für Dünnschichtabscheidungsprozesse wie LCD-Panel und Solarzellenproduktion. Die Sputterausrüstung SME 200 J ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Dünnschichtabscheidungsgerät. Mit seinen einstellbaren Parametern, dem großen Sputterbereich und der breiten Palette an Sputtertechniken ist ULVAC SME-200J ein effektives Werkzeug für viele Dünnschichtprozesse.
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