Gebraucht ULVAC SME-200J #9357605 zu verkaufen
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ULVAC SME-200J ist eine Sputteranlage von ULVAC Technologies, Inc. Es ist für Allzweckmaterialsputtern und Anwendungen wie Dünnschichtabscheidung, Adhäsion und Elektrodenherstellung ausgelegt. ULVAC SME 200 J ist ein eigenständiges Sputtersystem, das einen Basisschrank und eine Zielhaltereinheit umfasst und mit einem Betätigungsfutter, einer Anzahl von Probenhaltern, Stromversorgungsabdeckungen, einer Abgasmaschine und Sputterquellen (bis zu acht Sputterpistolen) ausgestattet ist. Das Design von SME-200J ermöglicht den gleichzeitigen Betrieb mehrerer Quellen mit unterschiedlichen Leistungseinstellungen und eignet sich somit für Prozesse wie die Abscheidung von MOS (Metal Oxide Semiconductor), die Abscheidung von Dünnschichten und die Herstellung von Elektroden. Die Abscheiderate läßt sich je nach Verwendungszweck leicht einstellen. Die Zielmaterialien bestehen aus Aluminium, Kupfer, Gold, Titan, Nickel, Kohlenstoff usw. Je nach Zielmaterial wird das Sputtergas entsprechend entweder aus Argon, Stickstoff, Wasserstoff oder Sauerstoffgas ausgewählt. Zur Minimierung der Zeit für Probenüberschaltungen zwischen Sputterprozessen ist ein Lastsperrmechanismus vorgesehen. KMU 200 J verfügt auch über einen Controller, der es dem Benutzer ermöglicht, Sputterparameter, einschließlich Stromdichte, Kammerdruck, Leistung und Gasfluss, einfach einzustellen und zu pflegen. Zusätzlich zeigt der Werkzeugmonitorbildschirm Prozessbedingungen wie Temperatur, Druck, Kammerzustand und Gesamtsputterzeit an. ULVAC SME-200J sputtering asset ist ein vielseitiges Werkzeug für viele Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es ist sehr zuverlässig und ermöglicht eine einfache Bedienung und Anpassung von Prozessparametern. Das Modell ermöglicht auch den gleichzeitigen Betrieb mehrerer Quellen und sorgt dafür, dass die gewünschte Sputterleistung schnell und sicher erreicht wird.
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