Gebraucht ULVAC SME-200LDM #9055124 zu verkaufen
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ID: 9055124
Weinlese: 2010
Sputtering system
Single wafer type
(1) 4-Chamber, 2-RTA
(1) 6-Chamber
2010 vintage.
ULVAC SME-200LDM ist eine hochmoderne Sputteranlage für eine Vielzahl von industriellen Beschichtungsanforderungen. Es bietet ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Schichtabscheidung sowie Kontrolle über Prozessparameter, zusammen mit hohen Abscheideraten Fähigkeiten. Das System ist mit einer fortschrittlichen Multitaschen-Sputter-Zielbaugruppe mit bis zu zwölf runden Targets mit einem Durchmesser von 80 mm ausgestattet, die eine gleichmäßige und präzise Filmabscheidung ermöglichen. Die Multi-Pocket-Anordnung ermöglicht es dem Bediener, unterschiedliche Sputterziele zu nutzen oder Ziele an verschiedene Stellen im Abscheideprozess zu verschieben. SME-200LDM verfügt über eine Vakuumkammer mit 150 mm Abstand zwischen dem Substrat und dem Target. Dies ermöglicht große Sputterflächen und hohe Abscheideraten mit der Fähigkeit, Substrate bis 330 mm Durchmesser zu beschichten. Es ist mit einer ölfreien Spiralpumpe mit hohem Wirkungsgrad ausgestattet, die eine schnelle Evakuierung ermöglicht und Ausfallzeiten minimiert. Darüber hinaus ist das Gerät auch kompatibel mit externen Vakuumpumpen für weitere verbesserte Leistung. Um die höchste Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, ist ULVAC SME-200LDM mit einem dynamischen Mylar-Maskenscanner ausgestattet, der die Substratkrümmung und die schwankende Lücke zwischen Substrat und Target kompensiert. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine dynamische Verschlussvorrichtung, um schnell eine hochwertige Beschichtung zu erreichen. Die Verschlußbaugruppe kann sich verschieben, um unabhängig von Änderungen der Substratform oder -geometrie eine gleichmäßige Abscheiderate zu erhalten. SME-200LDM ist auch mit einem einzigartigen Process Window Controller (PWC) ausgestattet. Das PWC ist ein Softwarepaket, das eine Echtzeit-Analyse der Abscheiderate, Filmdicke und Oberflächentopologie verwendet, um den gesamten Sputterprozess für höheren Durchsatz und bessere Qualität zu optimieren. Schließlich ist das Tool mit einem Controller-Panel konfiguriert, das eine vollständige Prozesssteuerung und -überwachung ermöglicht. Alle Asset-Parameter können einfach eingestellt, überwacht und an die Bedürfnisse des Benutzers angepasst werden. Dies macht das Sputtermodell äußerst flexibel und ermöglicht es Anwendern, schnell Anpassungen vorzunehmen, um ihre gewünschten Abscheideprofile zu erreichen. Insgesamt ist ULVAC SME-200LDM eine fortschrittliche Sputterausrüstung, die eine hervorragende, einheitliche und kontrollierte Zonenabdeckung sowie hohe Abscheidungsraten bietet. Seine Vielseitigkeit und umfangreiche Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Beschichtungsanforderungen.
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