Gebraucht ULVAC SME-200U #9107279 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SME-200U
ID: 9107279
ALN Sputtering System, 2009 vintage.
ULVAC SME-200U ist eine leistungsstarke Sputteranlage, die für den Einsatz in der Dünnschichttechnik entwickelt wurde. Das System verfügt über zwei unabhängige Netzteile mit jeweils einem integrierten Controller mit bis zu 200 W kombinierter Leistung und einem maximalen Gleichstrom von 400 mA. Dies ermöglicht die Abscheidung unterschiedlichster Materialien, darunter Edelmetalle, Dielektrika, Keramik und Halbleitermaterialien in verschiedenen Dicken und Abscheidegeschwindigkeiten. ULVAC SME 200 U nutzt eine 4-Punkt-Magnetron-Sputterpistole, die eine überlegene Materialausnutzung sowie eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Das 4-Punkt-Source-Design erleichtert außerdem die Integration mehrerer Targets und die Möglichkeit, Schichten verschiedener Materialien im gleichen Zyklus abzuscheiden. Das Gerät verfügt auch über eine speziell entwickelte Glockenglaskammer für verbesserte Leistung unter hohem Druck und erhöhte Temperaturen. Das Gerät ist für die Verarbeitung von Ultrahochvakuum (UHV) konzipiert und enthält weitere Funktionen wie eine Schrupppumpe, eine mehrstufige Vorderlinienfalle, eine Gasreinigungsmaschine und ein erweitertes Steuerwerkzeug. Dieses Asset ermöglicht die vielseitige Anwendung von Sputtern. Die doppelten Energiequellen ermöglichen die Abscheidung von Materialien in einer Vielzahl von Mustern, wie kurz, breit oder schmal. Die Flexibilität des Modells ermöglicht auch sowohl planare als auch rotatorische Sputterprozesse, wie die Abscheidung großer, gedrehter Zielflächen und Metallstents. Darüber hinaus ermöglicht die Multizielfähigkeit bei Verwendung von zwei Substraten das gleichzeitige Aufbringen von Ober- und Unterschichten in einer einzigen Rotation. SME-200U weitere verfügt über eine Drei-Gas-Betriebsfähigkeit für reaktives Sputtern, so dass Benutzer diesen Modus problemlos in ihren Prozess integrieren können, ohne zusätzliche Gaskrümmer zu benötigen. Das Gerät umfasst eine eingebaute Vakuumdiagnose sowie ein Off-Pump-Lichtbogenerkennungssystem für mehr Sicherheit. Schließlich erhöht eine programmierbare Automatisierungseinheit die Zuverlässigkeit und Reproduzierbarkeit der Maschine und ist damit ideal für volumenstarke Operationen. Insgesamt bietet KMU 200 U eine robuste und zuverlässige Sputterplattform für die Abscheidung von dünnen Folien. Die doppelten Energiequellen und die flexible Konfiguration ermöglichen eine Vielzahl von Prozessen mit größerer Präzision und Wiederholgenauigkeit und machen es zu einem wertvollen Werkzeug in einer Vielzahl von Branchen.
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