Gebraucht ULVAC SRH-420 #293830631 zu verkaufen

ULVAC SRH-420 Sputtergeräte sind ein vielseitiges und effizientes Werkzeug zur Herstellung von dünnen Filmen, speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System verfügt über eine fünfachsige Roboterbewegungseinheit mit einer 6-Zoll-in-line integrierten Vakuumkammerstruktur. Die Maschine beinhaltet eine manuell einstellbare Winkelhöhenverstellung von 0-15 ° und eine Präzisionsausrichtung des Sputter-Targets. Zu den weiteren Vorteilen von SRH-420 gehört ein geringerer Platzbedarf, der zu höheren Durchsatzraten und verbessertem Workflow führt. Herzstück des Werkzeugs ist die Hochleistungs-Hochfrequenzquelle (HF), die eine einzige Frequenzquelle ist, die bis zu 4kW arbeitet und eine konsistente und gleichmäßige Leistung liefert. Die HF-Stromquelle ist sowohl über den direkten Kontakt als auch über die berührungslose induktive Kopplung auf das Sputter-Target aufbringbar, wodurch dielektrische Filme gesputtert werden können. Darüber hinaus ist das Gut in der Lage, bis zu vier Materialien gleichzeitig abzuscheiden, was die Herstellung von Mehrschicht- und Mehrkomponenten-Dünnfilmen ermöglicht. ULVAC SRH-420 wird über eine integrierte grafische Benutzeroberfläche betrieben, die es dem Anwender ermöglicht, verschiedene Prozesse wie Pumpdown, Sputterreinigung, Substratbe-/entladen und Substratüberwachung durchzuführen. Es hat auch die Fähigkeit, Rezepte zu speichern sowie die Erstellung detaillierter Prozessberichte zusammen mit Echtzeit-Prozessdaten. Es ist mit einer Vielzahl von Prozessgasen wie Wasserstoff, Argon, Stickstoff, Sauerstoff und anderen inerten Gasen kompatibel. SRH-420 Sputtermodell wurde entwickelt, um dünne Filme höchster Qualität bereitzustellen, die für eine Vielzahl von Branchen wie Flachbildschirme, Halbleiterbauelemente, MEMS und andere Dünnschichttechnologien verwendet werden können. Das Gerät ist sehr vielseitig und benutzerfreundlich und somit eine ideale Wahl für Unternehmen, die nach einer zuverlässigen und kostengünstigen Lösung für die Dünnschichtabscheidung suchen.