Gebraucht ULVAC SRH-420 #9381707 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SRH-420
ID: 9381707
Sputtering system.
ULVAC SRH-420 ist eine Einkammer-Sputteranlage, ideal für ein breites Anwendungsspektrum. Es verwendet gebrauchsfertige Komponenten in seiner Standardkonfiguration, wie eine Hochleistungs-4-Magnetron-HF-Quelle mit einer maximalen HF-Leistung von 5000 Watt und eine Lastschloßkammer mit einer maximalen Substratgröße von 16 Zoll. SRH-420 verfügt über eine Graphit-Lastverriegelungskammer, eine Ionenquelle zur Verbesserung von Folienadhäsionsprozessen und eine softwarebasierte Prozesssteuerung für einfache Einrichtung und Bedienung. Das System wird auch mit einer Auswahl an Basissubstraten wie Silizium, Glas, Quarz und verschiedenen Keramiken geliefert. Dies bietet Vielseitigkeit und große Abdeckung in einer Vielzahl von Vakuum-Sputteranwendungen. ULVAC SRH-420 bietet einen hocheffizienten Sputterprozess, bei dem die Partikeldichten optimal gehalten werden. Das Gerät verwendet ein einzigartiges Gasregelungsmodul zur präzisen Prozesssteuerung. ULVAC Gasmodul ist so konzipiert, dass es mit einem genauen und zuverlässigen Bedienfeld einfach bedienbar ist. Es bietet „on-the-fly“ Gaskontrolle. SRH-420 bietet auch eine breite Palette von Sputterzielen, einschließlich Aluminium, Wolfram und Titannitrid. Alle diese Ziele können zur Prozessverfeinerung reaktiv gesputtert werden. Um zuverlässige und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten, umfasst ULVAC SRH-420 auch eine Mehrgasregelmaschine, ein Temperaturregelmodul, Vakuumpumpen und ein Wasserkühlwerkzeug. Dies bietet eine große Prozesssicherheit auch bei schwankenden Betriebsbedingungen. Eine Vielzahl von Diagnostika behält die Prozesssteuerung im Regelkreis bei. SRH-420 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die einzigartig auf die hohen Anforderungen vieler Branchen, Anwendungen und Prozesse zugeschnitten ist. Insgesamt ist ULVAC SRH-420 Sputtermodell ein hocheffizientes und zuverlässiges Werkzeug zur Erzielung bestmöglicher Folienablagerungen für viele Anwendungen. Seine Hochleistungs-4-Magnetron-HF-Quelle ist in der Lage, Leistung bis zu 5000 Watt für verbesserte Sputterprozesszeiten zu liefern. Es bietet eine breite Palette von Sputterzielen für hochreaktives Sputtern und verfügt über mehrere Gaskontroll-, Temperatur- und Wasserkühlmodule zur Aufrechterhaltung der Prozesssicherheit. Schließlich verfügt SRH-420 über intuitive softwarebasierte Funktionen und eine Systemsteuerung, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht.
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