Gebraucht ULVAC SRH-530 #9409839 zu verkaufen

ULVAC SRH-530 ist eine Sputteranlage, die von der ULVAC Corporation entwickelt und hergestellt wurde. Das System wird hauptsächlich für die Herstellung von Folien verwendet und verwendet ein Hochvakuum-Magnetron-Sputterverfahren. Die Sputtereinheit besteht aus einer Vakuumkammer und einem Satz von Mechanismen zum Transportieren und Zuführen der Materialien zum Abscheiden von Folien. Die Vakuumkammer ist für den Betrieb unter Druck von 10-2 bis 10-6 Pa ausgelegt. Sie ist mit einer Rotationspumpe, einer Turbomolekularpumpe und einer Turbomolekularverstärkerpumpe ausgestattet. Die Maschine umfasst auch eine HF-Stromversorgung, ein HF-Anpassungsnetz, eine HF-Plasmaquelle, ein Sputterziel und einen Shuttle-Mechanismus. SRH-530 bietet gestotterten Filmabsetzungsprozess eines gut kontrollierten magnetron. Das im Werkzeug verwendete HF-Netzteil liefert dem Ziel stabile Gleichspannung und Strom. Das HF-Matching-Netzwerk und die Plasmaquelle erzeugen das Plasma, um das Zielmaterial zu sputtern. Der Shuttle-Mechanismus unterstützt die Übertragung des Targets in das Asset und die Ausrichtung des Targets auf das Substrat. Außerdem bietet das Modell eine kontaminationsfreie Umgebung für den Folienabscheidungsprozess. Das Gerät bietet eine hohe Genauigkeit bei der Steuerung der Sputterprozessparameter wie HF-Leistung, Gasdurchfluss und Substrattemperatur. Der Gasstrom wird hauptsächlich durch einen Massenstromregler geregelt. Die Substrattemperatur kann über einen Temperaturregler geregelt werden. Darüber hinaus verfügt das System über eine leistungsstarke Software zur Datenverwaltung und Prozesssteuerung. ULVAC SRH-530 Sputtereinheit ist ideal für die Herstellung von Hochleistungsfolien wie Antireflektionsbeschichtungen, Schutzschichten, leitfähigen Schichten und optischen Folien. Die Maschine kann in mehreren Branchen eingesetzt werden, darunter Halbleiter, Automobil, Elektronik und Optik. SRH-530 hat eine kompakte Bauweise und ist einfach zu bedienen. Seine Leistung und Genauigkeit machen es zu einer qualitativ hochwertigen Wahl für Folienabscheidungsanwendungen.