Gebraucht ULVAC SRH-820 #9384114 zu verkaufen

ULVAC SRH-820 ist eine fortschrittliche Sputteranlage für Forschung und Produktion. Das System nutzt DC/RF-Sputtern mit Dual-Targets und kann sich sowohl auf ebenen als auch auf gekrümmten Flächen abscheiden. Es wird am häufigsten zur Dünnschichtabscheidung verschiedener Materialien wie Metalle, Oxide und Nitride verwendet. Die Einheit umfasst eine Hochvakuumkammer mit Gasspülfunktion, eine Magnetronquelle, ein elektrostatisches Substratfutter und eine Ultrahochfrequenz-Magnetronquelle. Die Ultrahochfrequenz-Magnetronquelle ermöglicht eine stabile Sputterleistung bei hohem Durchsatz bei niedrigerer Leistung. Die achtachsigen elektrostatischen Substratstufen sind für ein effizientes Sputtern auf unterschiedlich geformten Substraten drehbar und kippbar. Die Kammer umfasst ferner einen gasgeschirmten turbulenten Strahl zum Sputtern auf gekrümmten Flächen und eine Anordnung von Magnetarrays zum gleichmäßigen Sputtern auf großen Flächen. Die Kammer umfasst auch eine Übertragungsleitung und ein Medienfilterarray, um die Auswirkungen von Partikeln und anderen während des Prozesses erzeugten Verunreinigungen zu reduzieren. Die Hochleistungs-Magnetronquelle ist ebenfalls einstellbar und kann für kurze Abscheidezeiten verwendet werden. Die Maschine bietet auch eine temperaturgesteuerte Substratstufe mit einem weiten Temperaturbereich von -30 bis + 250 ° C, die die Abscheidung verschiedener Materialien bei unterschiedlichen Temperaturen ermöglicht. Das Werkzeug enthält auch einen Sputterregler zur automatisierten Steuerung der HF-Leistung, des Zielstroms und der Substrattemperatur. Es kommt auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie einem Sicherheitsschalter und einem Warndisplay, wenn eine Anomalie erkannt wird. ULVAC SRH 820 ist perfekt für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen, von kleinen Proben bis zu großen Substraten. Es ist in der Lage, Dünnschichtabscheidung einer Vielzahl von Materialien mit Stabilität, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit leicht zu handhaben. Mit seinen erweiterten Funktionen ist SRH-820 zu einer beliebten Wahl für Sputteranwendungen geworden.