Gebraucht ULVAC SRH-820 #9398866 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
SRH-820
ID: 9398866
Weinlese: 2006
Sputtering system Type: UBM Ti W / Au 2006 vintage.
ULVAC SRH-820 ist eine Sputteranlage zur Abscheidung von Metall- und dielektrischen Dünnschichten. Es verfügt über direkte Widerstand Magnetron Sputtern, die eine Präzisionsregelung der Sputterraten und Schichtdicke Gleichmäßigkeit für erhöhte Leistung und Zuverlässigkeit ermöglicht. Die Arbeitskammer des ULVAC SRH 820 ist mit einem einzigartigen Filmbildungsmechanismus - Dual Now Vacuum Field Control (Denfield) - ausgestattet, der eine elektrostatische Abschirmung mit einer leistungsstarken Magnetronquelle kombiniert, um eine stabile Prozesssteuerung und hochwertige Filme zu erreichen. Das System kann auch für verschiedene Anwendungen angepasst werden, mit Steuerhardware, Software, Materialien und Komponenten, um die Oberflächen- und Folienstruktur des fertigen Produkts zu optimieren. Das Design von SRH-820 umfasst eine hochpräzise, energiereiche HF-Magnetronquelle, die eine großflächige Sputterabscheidung mit guter Gleichmäßigkeit ermöglicht. Dieses Design ermöglicht eine gute Filmgleichförmigkeit und eine hervorragende Partikelkontrolle, was zu erhöhter Prozessstabilität, verbesserter Gerätesicherheit und geringeren Betriebskosten beiträgt. Die Dual-Vakuum-Konstruktion ermöglicht auch Prozessflexibilität sowie höhere Abscheideraten. Darüber hinaus sind das HF-Magnetron, das DC/RF-Magnetron und alle Sputterkomponenten für eine hohe Leistung bis zu 110kW ausgelegt, was Abscheidungen mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten, Qualitäten und Filmstrukturen ermöglicht. Die Kompatibilität des SRH 820 mit einer der am weitesten verbreiteten PC-gesteuerten Schnittstellen, einer Windows-basierten Software, erleichtert die Programmierung und Steuerung des Geräts. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht auch den schnellen Zugriff auf frühere Daten und die schnelle Einrichtung mehrerer Anwendungen für verschiedene prozedurale Anforderungen. Darüber hinaus bietet ein eingebautes Aufzeichnungsgerät eine detaillierte Dokumentation zur weiteren Analyse. Um eine optimale Leistung und einen optimalen Betrieb zu gewährleisten, verfügt ULVAC SRH-820 über mehrere Sicherheitsmerkmale, darunter einen Notstromschalter, eine Druck-/Vakuumanzeige und einen automatischen Partikelmonitor. Die verbesserte Sputterfähigkeit und die optionalen In-situ-Diagnosefunktionen von ULVAC SRH 820 bieten zusätzliche Vorteile gegenüber anderen Systemen. Abschließend ist SRH-820 ein ausgeklügeltes Sputterwerkzeug, das eine präzise Kontrolle sowohl über die Sputterabscheidung als auch über die Filmbildung dünner Filme ermöglicht. Seine Dual Now Vacuum Field Control, mehrere Sputterquellen, breite Materialkompatibilität und integrierte Sicherheitsfunktionen machen es zu einer leistungsstarken Wahl für hochpräzise und qualitativ hochwertige Anwendungen.
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