Gebraucht ULVAC ULDiS-200 #9237375 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
ULDiS-200
ID: 9237375
Weinlese: 2013
Digital sputtering system 2013 vintage.
ULVAC ULDiS-200 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage zum Aufbringen von Dünnschichtmaterialien auf Substraten. Dieses System verfügt über eine bis zu 8 kW-Quelle, eine elektronisch gesteuerte Vakuumkammer und eine vordere Öffnungstür für einen einfachen Zugang. ULDiS-200 Quelle ist eine Radiofrequenz (RF) -induktiv gekoppelte Hohlkathodeneinheit, die von einem Gleichstromnetzteil gespeist wird. Diese Quellmaschine erzeugt ein ionisiertes Plasma hochenergetischer Elektronen, das das Substrat mit Ionen und neutralen Partikeln bombardiert und dabei eine erhebliche Abscheidungsrate erzeugt. Die Vakuumkammer von ULVAC ULDiS-200 besteht aus Edelstahl und ist für alle Sicherheits- und Betriebsanforderungen ausgelegt. Die Kammer ist isoliert und thermisch stabil mit ausgezeichneten Vakuumeigenschaften, so dass das Werkzeug zu langen Abscheidezeiten durchführen. Die digitale Druckauslesung sorgt für eine präzise Drucksteuerung, während die vordere Öffnungstür eine einfache Zugänglichkeit beim Be- und Entladen von Substraten ermöglicht. ULDiS-200 kann eine Reihe von Materialtypen herstellen, darunter Polysilizium, Siliziumoxide und Nitride, Titannitrid und Molybdän. Die Anlage wurde auch entworfen, um eine präzise Dickenkontrolle und Gleichmäßigkeit durchzuführen, so dass es eine ideale Wahl für die Herstellung von dicken Folienschichten bis zu 5 μ m ist. Darüber hinaus ist ULVAC ULDiS-200 mit einer Vielzahl von Werkzeugen zur Plasmaüberwachung und Temperaturregelung ausgestattet. Das Modell verfügt über eine breite Palette von Zubehör, darunter Tiegel, Spurengase und Thermoelemente. Dadurch können Anwender alle Abscheideprozesse vollständig überwachen. Insgesamt ist ULDiS-200 eine zuverlässige und effiziente Sputterausrüstung, die in der Lage ist, qualitativ hochwertige Dünnschichten herzustellen. Es verfügt über eine bis zu 8 kW-Quelle, eine elektronisch gesteuerte Vakuumkammer und eine Vordertür für einfachen Zugang und wurde entwickelt, um eine präzise Dickenkontrolle und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Mit seinen langen Abscheidezeiten, einer Vielzahl von Materialtypen und einem breiten Spektrum an Zubehör eignet sich ULVAC ULDiS-200 gut für die Herstellung von dicken und dünnen Filmen.
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