Gebraucht ULVAC Zi-1000 #9128730 zu verkaufen

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ULVAC Zi-1000
Verkauft
Hersteller
ULVAC
Modell
Zi-1000
ID: 9128730
Wafergröße: 8"
Sputtering systems, 8".
ULVAC Zi-1000 ist eine hochmoderne multifunktionale Sputteranlage für die hochpräzise Dünnschichtabscheidung. Dieses System verfügt über eine ultrastabile Sputtertechnik mit direktem Antrieb, die eine präzise Steuerung des Abscheideprozesses und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit der Folien auf großen Oberflächen ermöglicht. Das Gerät verwendet eine fortschrittliche DC- oder PF-Sputtertechnologie, die niedrige Sputterleistung bietet und die Abscheidung von niederohmigen Filmen mit minimalen unerwünschten Effekten wie Diffusion von Verunreinigungen oder Rauheit ermöglicht. Die fortschrittliche Multi-Target-Konfiguration mit fünf Taschen ermöglicht maximale Flexibilität und hohe Sputterratenstabilität. Mit den unabhängigen Stromversorgungen für jede Sputterposition können verschiedene Filmtypen gleichzeitig hergestellt werden; dies ist besonders vorteilhaft für Mehrschichtfolien. Der leistungsstarke digitale Prozessor ermöglicht es dem Benutzer, alle Parameter einfach zu steuern und einheitliche und wiederholbare Ablagerungen durchzuführen. Es bietet auch Wafer-Profilmessungen, um eine präzise Filmabscheidung innerhalb bestimmter Toleranzstufen zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet eine fortschrittliche Gaskontrollmaschine eine präzise Mischung verschiedener Prozessgase, um eine hohe Gleichmäßigkeit der Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten. Zi-1000 verfügt über ein integriertes Load Lock Tool, das mehrere Substrate ferngesteuert oder manuell einführen und während des Abscheidungsprozesses vor Oxidation schützen kann. Die Anlage ist mit einem HF-Vorspannungsgenerator ausgestattet, der für verschiedene Ablagerungen eine Vorspannung bis 5kV erzeugen kann. Die überlegene Funktionalität und Flexibilität des ULVAC Zi-1000 machen es zu einem idealen Abscheidungsmodell für Forschungs- und Entwicklungslabore sowie für industrielle Anwendungen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften ermöglichen es dem Benutzer, Dünnschichtfolien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und überlegener Präzision, Integrität und Adhäsionseigenschaften schnell zu produzieren. Darüber hinaus ermöglicht sein überlegenes Design schnelle, genaue und wiederholbare Ablagerungsprozesse auf verschiedensten Substraten.
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