Gebraucht ULVAC Zi-1000 #9157922 zu verkaufen
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ULVAC Zi-1000 ist eine Sputterausrüstung, die auf ULVAC patentierter, fortschrittlicher ALVA-Technik (Low Vacuum Arc) basiert. Es bietet überlegene Sputtern Gleichmäßigkeit und Abscheidungsrate Kontrolle über einen weiten Arbeitsdruckbereich. Das System besteht aus einer Hauptkammer, einer HF-Stromversorgung, einer ALVA-Elektronenkanone, drei drehbaren Targets, einer Abdeckung und einer Vakuumpumpe. Die Hauptkammer ist mit vier Anschlüssen für drei drehbare Targets und einer für die Elektronenkanone ausgestattet. Das HF-Netzteil liefert bis zu 1000 Watt Leistung und kann präzise gesteuert werden. Die ALVA-Elektronenkanone verfügt über eine Elektronenkanone-Stromversorgung und Steuerkarte sowie einen Satz Elektronenkanonen für lineare und kreisförmige Bewegungen. Es wurde entwickelt, um Abscheidungsungleichförmigkeiten zu reduzieren. Die drei drehbaren Targets bestehen aus Wolfram und haben eine Dicke von 5mm und sind in der Lage, Temperaturen bis zu 1000 ° C zu handhaben. Sie haben einen Außendurchmesser von 300mm. Die Abdeckung besteht aus Aluminium und wird verwendet, um das Plasma während des Abscheidungsprozesses zu enthalten und Kontaminationen zu reduzieren. Die Vakuumpumpe kann niedrige Arbeitsdrücke erzielen und hat einen Durchfluss von 500 Litern pro Minute. Das Gerät enthält verschiedene Zubehörteile wie Staubfilter, Vakuumventile, Manometer usw. Zi-1000 ermöglicht eine optimale Oberflächengüte, außergewöhnliche Haftung und geringe Oberflächenrauhigkeit sowie eine hervorragende Topographiekontrolle. Es ist perfekt für die Beschichtung von harten, leitfähigen Oberflächen wie Stahl, Kupfer und Aluminium. Die Maschine bietet fortschrittliche Funktionen wie hohe Abscheiderate für dicke Filme, präzise Steuerung der Oberflächentopographie durch mehrere Ziele, hartes Vakuum für korrosive Ziele, niedrige Substrattemperatur für Präzisionsabscheidung, lange Laufzeit, hohe Energieeffizienz und geringe Abfälle und Emissionen. Abschließend ist ULVAC Zi-1000 ein fortschrittliches Sputterwerkzeug, das eine hervorragende Leistung bei der Beschichtung einer Vielzahl von Oberflächen bietet.
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