Gebraucht ULVAC Zi-1000 #9219049 zu verkaufen

ULVAC Zi-1000 ist eine Sputteranlage, die dünne Folien mit Präzision und Gleichmäßigkeit ablegen soll. Es eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen, einschließlich Halbleitersubstrate, Solarzellen, LED-Chips und andere Geräte. Das Sputtersystem besteht aus einer Vakuumkammer, Sputtertarget, Sichtanschluss, Vakuumeinheit und einer Stromversorgung. Die Vakuumkammer besteht aus einer äußeren geschweißten Metallschale, einer Innenwand und einem Keramiksockel. Es ist so konzipiert, dass es Luftvakuum versiegelt ist, um eine gleichmäßige Filmabscheidung auf der Probe aufrechtzuerhalten. Das Sputtertarget ist eine Elektrode, mit der das effiziente Sputtern durch Anlegen einer Hochspannung möglich ist. Der Sichtanschluss ermöglicht die Beobachtung und Steuerung der laufenden Filmabscheidung. Die Maschine ist mit einer Turbomolekularpumpe, mechanischen Booster-Pumpen und Turbomolekularpumpen ausgestattet, die einen Basisdruck von 5E-4 Pa und einen hohen Durchsatz bieten. Die Stromversorgung ist ein Hochfrequenz-Transistor-Schaltmodul, das eine einstellbare Leistung für das Sputtern liefert und die Verwendung kundenspezifischer Impulsparameter ermöglicht. Zi-1000 eignet sich zur Abscheidung von Metallen, Oxiden und Verbindungen mit gleichmäßiger Dicke auf flachen Substraten und ist bei der Herstellung und Anwendung von Halbleiterbauelementen weit verbreitet.