Gebraucht ULVAC Zi-1000 #9354446 zu verkaufen

Hersteller
ULVAC
Modell
Zi-1000
ID: 9354446
Wafergröße: 8"
Sputtering system, 8" Type: Multi chamber (3) Process module controllers (5) Chambers Transfer unit Chiller Cables Monitor rack AC Power box UPS Accessories.
ULVAC Zi-1000 ist eine Sputteranlage von ULVAC Inc., die für die Abscheidung von dünnen Folien auf verschiedenen Materialien entwickelt wurde. Das System basiert auf einem hochfrequenten Gleichstrom-Niederdruckplasma, das es ermöglicht, die Abscheiderate während des gesamten Abscheidungsprozesses auf einem gleichbleibenden Niveau zu halten. Zi-1000 ist in der Lage, dünne Filme mit hoher Genauigkeit, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit auf Halbleitern, Dielektrikum, Keramik und Polymeren abzuscheiden. Die Sputtereinheit wird mit einem AC-DC-Netzteil versorgt, das bis zu 1000W Sputterleistung für das Sputtern von Zielmaterialien mit einer Vielzahl von Sputtergasen bereitstellen kann. Diese Leistung wird verwendet, um eine Niederdruck-Plasmaumgebung innerhalb des Reaktors zu schaffen, die ein ionisiertes Gas erzeugt, das verwendet werden kann, um eine Vielzahl von Dünnschichtmaterialien zu sputtern. Die Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung wird durch eine proprietäre ULVAC 'Super Focus' -Technik erreicht, die eine konzentrierte und enge gleichmäßige Plasmaverteilung im Reaktor erzeugt und ein gleichmäßiges Sputtern des Zielmaterials ermöglicht. Die Maschine ist außerdem mit einer Reihe von Monitoren, Sensoren und Reglern ausgestattet, um sicherzustellen, dass alle Prozessparameter in einem gewünschten Bereich gehalten werden und das gesamte Werkzeug unter optimalen Bedingungen arbeitet. Darüber hinaus verfügt ULVAC Zi-1000 über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, einschließlich eines Überdruckschutzes und eines Erdfehlerkreislaufunterbrechers, die verhindern, dass sich während des Betriebs gefährliche Bedingungen entwickeln. All diese Eigenschaften machen Zi-1000 zu einer idealen Wahl für fortschrittliche Dünnschichtabscheidungsprozesse.
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