Gebraucht ULVAC ZX-1000 #293642880 zu verkaufen

ULVAC ZX-1000
Hersteller
ULVAC
Modell
ZX-1000
ID: 293642880
Wafergröße: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC ZX-1000 ist eine Sputteranlage zur Abscheidung dünner Materialschichten auf einem Substrat. Es verfügt über ein robustes und wiederholbares Verfahren zum Aufbringen von dünnen Materialschichten auf eine Zieloberfläche, mit Anwendungen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie sowie in Forschung und Entwicklung. Das System verwendet Vakuumabscheidungssputtern, ein fortschrittliches Verfahren, das eine hochenergetische Gleichstrom (DC) -Sputterquelle verwendet, um Material von einem Target auf das Substrat zu übertragen. Es wurde entwickelt, um gleichmäßige dünne Folien mit ausgezeichneter Haftung und sehr reproduzierbaren Ergebnissen zu erzeugen. ULVAC ZX 1000 besteht aus drei Schlüsselkomponenten: Kammer, Quelle und Pumpe. Die Kammer ist in einer zylindrischen „Nasskiste“ konstruiert, die mit einem wärmeisolierenden Material beschichtet ist, um den Energieverlust zu reduzieren. Es enthält auch ein Glasfenster zur Beobachtung des Prozesses. Die primäre Erosionsquelle ist ein planares oder zylindrisches Drehtarget, das am Dach der Kammer aufgehängt ist. Die Quelle ist mit einer Gleichstromversorgung verbunden, die einen intensiven Strom direkt an das Target sendet, das Oberflächenmaterial verdampft und auf der Substratoberfläche abscheidet. Neben dem Ziel und der Stromversorgung verwendet ZX-1000 auch eine Pumpe, um die Kammer zu evakuieren, auch als Sputter-Ionen-Pumpe bekannt. Dabei handelt es sich um eine Mischstrom-Trocken-Spiralpumpe, die mit dem Boden der Kammer verbunden ist, die dazu ausgelegt ist, die Kammer schnell zu evakuieren und ein bestimmtes Vakuumniveau aufrechtzuerhalten. ZX 1000 kann mit einer Vielzahl von Substraten verwendet werden, einschließlich Metall, Silizium und Glas. Es ist auch mit einem eigenen Substrathalter ausgestattet, der über einen eingebauten Kühlventilator und verstellbare Abstandshalter verfügt, um eine gleichmäßige Sektorabscheidung zu gewährleisten. Neben der zuverlässigen und einfachen Sputtereinheit umfasst ULVAC ZX-1000 auch einen integrierten Controller mit benutzerfreundlicher Software zur optimalen Steuerung des Abscheideprozesses. Zusammenfassend ist ULVAC ZX 1000 eine fortschrittliche Sputtermaschine, die zuverlässig, wiederholbar und präzise ist. Es ist in der Lage, dünne Materialschichten auf verschiedene Substrate abzuscheiden, und seine integrierte Software ermöglicht eine einfache Bedienung und liefert äußerst zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Die ausgezeichnete Wiederholbarkeit von ZX-1000 sorgt für hochwertige Folien mit gleichmäßiger Dicke und ausgezeichneter Haftung und ist damit ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung.
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