Gebraucht UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9259021 zu verkaufen

UNAXIS/BALZERS LLS EVO ist eine Magnetronsputteranlage, die in der Halbleiterindustrie in einer Vielzahl von Abscheidungsprozessen häufig eingesetzt wird. Das System besteht aus einer Sputterkammer, Zielmaterialquellen und mehreren anderen Komponenten. Die Sputterkammer selbst ist eine Vakuumkammer zur Aufnahme einer Reihe von Substraten, einschließlich Wafern und anderen Vorrichtungen. Diese Substrate werden auf eine spezielle Vakuum-Wafer-Bootsplattform geladen, die innerhalb der Kammer sitzt. Dies ist erforderlich, damit der Abscheidevorgang gleichmäßig ablaufen kann. In der Sputterkammer befinden sich auch die Magnetronsputtersysteme. Hierdurch können die Zielmaterialquellen auf die Substratoberflächen abgeschieden werden. Mit einer Hochspannungsquelle wird ein elektrisches Feld erzeugt, das mit den in der Zerstäubungskammer vorhandenen gasförmigen Ionen zusammenwirkt. Dies bewirkt dann, dass sie das gezielte Sputtermaterial bombardieren, das dann von der Materialoberfläche auf das Substrat getrieben wird. UNAXIS LLS EVO verfügt über fortschrittliche Funktionen wie die reaktive Kammerfunktion, die die Verwendung eines Gasgemisches zum Sputtern und Verarbeiten bestimmter Materialien ermöglicht. Diese Art von Verfahren ist ideal, um spezifische stöchiometrische Verhältnisse zu erreichen und technisch anspruchsvolle Materialien zu erzeugen. Das Gerät verfügt zudem über eine integrierte Lasermaschine, die die Dicke der abgeschiedenen Filme in Echtzeit messen kann. Dieses Beleuchtungswerkzeug dient auch als Diagnose- und Asset-Monitor. BALZERS LLS EVO ist für den hohen Durchsatz ausgelegt und kann bis zu 12 Wafer pro Stunde verarbeiten. Es verfügt auch über ein Touchscreen-Panel für einfache Bedienung und Parametereinstellungen, die es dem Benutzer ermöglichen, den Sputterprozess auf seine spezifischen Bedürfnisse abzustimmen. Das Modell ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet, die das Benutzererlebnis verbessern sollen, wie ein benutzerfreundlicher Bildschirm, eine effiziente Prozesssteuerung und leistungsstarke Software. LLS EVO ist ein zuverlässiges und effektives Abscheidungssystem, das den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht werden kann. Es kann Anwendern fortschrittliche und präzise Abscheidungsprozesse bieten, die dazu beitragen, den Produktionsdurchsatz und den Ertrag zu erhöhen. Die integrierten Funktionen des Geräts ermöglichen auch eine bessere Prozesssteuerung und Anpassung, was es zu einer großartigen Lösung für eine Vielzahl von Ablagerungsanforderungen macht.